CCZK-EW卧式蒸发镀膜设备

腔体结构： 采用卧式前开门，侧置真空获得系统

电源类型: 配置电阻蒸发电源、离子轰击电源、可控硅电源

材质用料: 严选采用优质碳钢或不锈钢材质

泵抽系统: 装备扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（配置可选深冷泵）

冷却系统: 水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机。

转动系统: 可依据需求选配选滚镀系统夹具，公自转结合，变频调节

智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现逻辑全自动控制

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

其他技术参数：

极限真空： 5.0×10-4Pa

抽气速率： 5.0*10-2≤5min

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

备注:

一般规格有：

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做