技术配置
腔体结构: 立式前开门,卧式前开门,后置真空获得系统
材质用料:腔体均采用优质不锈钢锻造
制膜种类:光学多层膜,光学增透膜、减反射膜(AR)、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等
转动系统: 变频调速,配备光学镀膜伞和行星式工件转架
电子束蒸发器: 配备大功率E型电子枪
辅助镀膜: 可配备霍尔离子源或 高压离子轰击电源以提高附着力、膜层密度、稳定折射率
加热系统:铠装加热管加热方式,350℃温控PID控制。
真空系统:扩散泵(可选分子泵)+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统(可选)
气体控制: 采用多路气体流量控制仪
膜层监测: 配置采用美国INFICON产石英晶振膜厚仪,可实现膜层参数的储存与自动调用
智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,实现逻辑全自动控制
报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。
其他技术参数:
极限真空: 5.0×10-4Pa
抽气速率: 5.0*10-2≤5min
水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;
备注:
一般规格: Φ1350*H1350,Φ1600mm*H1500mm,Φ2050mm*H1500mm,
真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做
样品图
应用
驰诚CCZK-OGS光学镀膜机可应用于如各种玻璃镜片,玻璃片,光学树脂镜片、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯、舞台灯光、电子产品、手机视窗、玻璃手机面板壳等产品的镀膜,驰诚光学镀膜设备可镀制层数较多的短波通、长波通、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等多种膜系,能够实现0-99层膜的膜系镀膜。
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