Phụ Kiện & Vật Tư Tiêu Hao

Vật liệu tiêu hao cho lớp phủ:

Dây nhôm, dây vonfram

Bia đa cung (titan, crôm, zirconi, silic, niobi, v.v.)

Bia phún xạ từ tính dạng phẳng (titan, crôm, zirconi, silic, niobi, v.v.)

Bia phún xạ từ tính dạng trụ (titan, crôm, zirconi, silic, niobi, v.v.)

Dầu công nghiệp và sơn:

Sơn phủ UV, dầu bơm phân tử, dầu bơm khuếch tán

Phụ kiện thiết bị：

Bộ phận đo lường và điều khiển: đồng hồ đo chân không điện trở, đồng hồ đo chân không ion hóa, lưu lượng kế, đồng hồ đo chân không

Bơm chân không: bơm cơ học, bơm giữ chân không, bơm phân tử, bơm Roots, bơm khuếch tán

Các bộ phận chính: buồng chân không, dây đốt nóng, ống đàn hồi (bellow), nguồn hồ quang, gioăng làm kín