Máy phủ chân không PVD phún xạ bằng nam châm

Lõi đích làm mát gián tiếp
Trường từ khép kín không cân bằng
Catốt phẳng / hình trụ (tùy chọn)

Giới thiệu

Sử dụng công nghệ lắng độn bằng bia từ tính phẳng/quay, có thể lắng đọng các màng kim loại và hợp chất đặc khít, đồng đều, phù hợp với nhiều loại nền và nhiều tình huống ứng dụng khác nhau

Công nghệ cốt lõi

■ Các mục tiêu phẳng / quay tùy chọn, khả năng thích ứng cao

■ Điều khiển PLC hoàn toàn tự động, thao tác dễ dàng

■ Có khả năng phủ một lớp / nhiều lớp, chất lượng màng tinh khiết

■ Phù hợp với các chi tiết có kích thước lớn / nhỏ và hình dạng đặc biệt

Ưu Điểm Chính

■ Lớp phủ dày đặc và đồng đều, độ bám dính mạnh

■ Quy trình ổn định, độ lặp lại tốt

■ Phủ ở nhiệt độ thấp, không gây hư hại cho các vật liệu nền nhạy cảm với nhiệt

■ Tỷ lệ sử dụng mục tiêu cao, chi phí bảo trì thấp

Cấu hình cơ bản

Mô hình	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Kích thước buồng	D700mm*H700mm	D1000mm*H1200mm	D1400mm*H1600mm	D1600mm*H1800mm	D1800mm*H2000mm
Power Load	58kw	75kW	175KW	230kW	255kw
Khu vực tiếp đất	D4200mmR4200mmC2300mm	D5400mmR5200mmC2900mm	D6155mmR5050mmC3210mm	D6500mmR4750mmC3200mm	D7800mmR5200mmC2600mm
Màu Lớp Phủ	Vàng, Bạc, Đen Kim Loại, Vàng Hồng, Xanh Dương, Xám, Trong Suốt
Màng Phủ	Màng kim loại nguyên chất, màng hợp kim, màng hợp chất; Độ cứng 500–3000HV, đặc chắc và chống mài mòn
Hệ thống chân không	Bơm khuếch tán / Bơm phân tử tua-bin + Bơm tăng áp + Bơm cánh gạt quay + Bơm giữ chân không (bơm cryogenic và bơm Polycold là tùy chọn)
Chân Không Tối Đa	5 × 10 ^-4Pa (Buồng sạch và trống)
Hệ thống xoay	Quay tự quay và quay quanh trục 6/8/10/12/16 trục

Hệ Thống Lớp Phủ	CKB ^®Catốt phún xạ phẳng / CKB ^®Catốt phún xạ thanh trụ / IET ^®Khắc mòn / Đường dẫn khí MFC phân bố / Phún xạ HIPIMS


Bộ nguồn máy tính	Công suất phún xạ DC xung / Công suất phún xạ lưỡng cực / Nguồn điện phún xạ RF / Nguồn điện phân cực xung / Nguồn điện HIPIMS / IET ^®điện
Hệ điều hành	Toàn tự động (IPC/PLC) + Điều khiển từ xa + Hệ thống cảnh báo (Giao thức kết nối OPC-UA có sẵn)

Ghi chú	Kích thước cấu hình cụ thể có thể được thiết kế theo yêu cầu sản phẩm phủ lớp của khách hàng

Ứng dụng

Được sử dụng rộng rãi trong các bộ phận trang trí kim khí, kính thiết bị gia dụng, bộ phận ô tô, sản phẩm kỹ thuật số 3C, thấu kính quang học, chai lọ mỹ phẩm bằng kính, linh kiện bán dẫn, linh kiện thiết bị chính xác và đồ trang trí thủ công cao cấp; quy trình này có thể tạo ra nhiều màu sắc phong phú và hình thành lớp màng đồng đều, dày đặc.