垂直二扉式蒸発PVD真空コーティング装置

垂直二重ドア式交互動作構造、ローディング／アンローディングとコーティングを同期して行う。マグネトロンスパッタリング、抵抗加熱蒸着、保護フィルムコーティングに対応。マルチパーパス一体型装置

■ 垂直二重ドア構造で、クランプおよびターゲット交換が容易

■ レボリューション・ローテーション式ワークピースホルダー：色ムラのない均一なコーティング

■ ワンキー起動による完全自動運転で、人件費を削減

■ オプションのオンライン膜厚モニタリング機能で、膜品質を制御可能

■ 高速二重ドア切替により、生産効率が50％向上、処理能力が2倍に

■ 短サイクルタイム（1サイクル6～8分）で、高い生産能力を実現

■ 高耐荷重ターンテーブルで、大型・重量級ワークピースにも対応

■ 完全閉ループ品質管理により、24時間連続安定運転を実現

モデル	CCZK-1000EL	CCZK-1200EL	CCZK-1400EL	CCZK-1800EL	CCZK-2000EL
部屋の大きさ	直径1000mm×高さ1200mm	直径1200mm×高さ1500mm	直径1400mm×高さ1600mm	直径1800mm×高さ2000mm	直径2000mm×高さ2200mm
パワーロード	43KW	50kW	63KW	93KW	105KW
設置面積	長さ3100mm×幅4800mm×高さ2700mm	長さ3600mm×幅5060mm×高さ2700mm	長さ4200mm×幅6550mm×高さ3100mm	長さ7200mm×幅8100mm×高さ3300mm	長さ7200mm×幅8500mm×高さ3300mm
コーティング色	ゴールド、シルバー、ブラック、カラーバリエーション（装飾用の異なる色）
掃除システム	拡散ポンプ／ターボ分子ポンプ＋ブースターポンプ＋ロータリーバネポンプ＋保持ポンプ（低温ポンプおよびポリコールドはオプション）
最終真空度	5×10 ^-4Pa（清掃済み・空のチャンバー）
回転システム	惑星式回転・公転 6／8／10／12／16軸

コーティングシステム	ヘビーコース ^®蒸発源


電源	蒸発電力／プラズマ電力
オペレーションシステム	完全自動（IPC／PLC）＋遠隔操作＋アラームシステム（OPC-UAリンクプロトコル対応）

備考	具体的な構成サイズは、顧客のコーティング対象製品の要件に応じて設計可能です。