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超硬膜PVD真空コーティング装置

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超硬膜PVD真空コーティング装置

  • 高堆積速度
  • 二重層水冷チャンバー
  • 自動プロセスレシピ保存機能

はじめに

フィルター付きマルチアークイオン法とアンバランスマグネトロンスパッタリング技術を統合し、切削工具および精密金型向けに、超硬・耐摩耗性・耐熱性・耐食性に優れた被覆を特別に形成し、加工物の寿命を延長します。

核心技術

■ コーティング硬度は最大1800~3500HVで、高い耐摩耗性および耐食性を有します

■ プラネタリーレボリューション・ローテーション式ワークピースホルダーで、特殊形状ワークピースへの優れたラッピングが可能です

■ 複数ターゲット構成により、多層複合グラデーション膜のコーティングが可能です

■ クローズドループ式温度制御システムで、コーティング温度を高精度に制御します

コアな利点

■ ドロップレムーバル技術(フィルター付)により、コーティング面にドロップが発生せず、表面が滑らかで、耐摩耗性が大幅に向上します

■ ダブル磁場強化イオンエッチングにより、膜密着性が強く、剥離しません

■ 最高1100℃までの耐熱コーティングで、高速乾式切削に適しています

■ 高速鋼、超硬合金、金型鋼、アルミニウム合金、セラミックスなどに対応し、あらゆる産業用途をカバーします

基本構成

モデル CCZK-700-HT CCZK-1000-HT
部屋の大きさ D700mm×H700mm D1000mm×H1000mm
パワーロード 140kW 170kW
設置面積 L4460mm×W4340mm×H2290mm L5200mm×W4800mm×H2700mm
コーティングフィルム TiN、CrN、AlTiN、AlCrN、TiSiN、AlCrSiN;硬度1800~3500HV、最高耐熱温度1100℃
掃除システム 拡散ポンプ/ターボ分子ポンプ+ブースターポンプ+ロータリーバネポンプ+保持ポンプ(低温ポンプおよびポリコールドはオプション)
回転システム 惑星式回転・公転
6/8/10/12/16軸
最終真空度 5*10-4 Pa(清掃済み・空のチャンバー)
コーティングシステム BTA ®ベンドチューブフィルター電弧カソード
IET ®エッチングソース
分散型MFCガス供給系
アノード層リニアイオンソース
電源 パルスアーク電源/パルスバイアス電源
/プラズマ電源/HIPIMS電源/IET ®電力
オペレーションシステム 完全自動(IPC/PLC)+遠隔操作+アラームシステム
(OPC-UAリンクプロトコル対応)
備考 具体的な構成サイズは、顧客のコーティング対象製品の要件に応じて設計可能です。


用途

切削工具、プレス金型、航空宇宙部品、医療機器、および耐摩耗性機械部品などに広く使用されており、緻密で均一な特性を有する超硬膜層を形成できます。

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