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マルチアークイオンPVD真空コーティング装置

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マルチアークイオンPVD真空コーティング装置

  • アークソースアレイ配置
  • デュアルダイナミックマグネティックカソード
  • 多層オーバーフロー反応ガス配管

はじめに

高イオン化率マルチアークイオンプレーティング技術を採用しており、金属のイオン化率が高く、堆積速度が速く、膜の密着性が極めて強く、汎用性に優れ、各種装飾用および機能性コーティングに適しています

核心技術

■ オプションの複数アークソース、カスタマイズ可能なコーティングプロセス

■ 全ステンレス鋼製真空チャンバー、耐食性に優れ、清掃が容易

■ パルスバイアスシステム、電荷の蓄積を防止し、被処理物のイグニッション(放電)を回避

■ 手動/自動のデュアルモード、柔軟な操作性

コアな利点

■ 高金属イオン化率、高速フィルム形成、大量生産効率に優れる

■ 優れたラッピング性能、深穴および特殊形状部品への均一なコーティング

■ 強力なアークソース安定性、低装置故障率

■ コンパクト構造、保守コスト低減、大量生産および研究開発に最適

基本構成

モデル CCZK-700-ION CCZK-1012-ION CCZK-1416-ION CCZK-1618-ION CCZK-1820-ION
部屋の大きさ D700mm×H700mm 直径1000mm×高さ1200mm 直径1400mm×高さ1600mm 直径1600mm×高さ1800mm 直径1800mm×高さ2000mm
パワーロード 55kw 95kw 110kw 130kW 150kW
エリア内荷重 L4460mm×W4340mm×H2290mm L5200mm×W4800mm×H2700mm 長さ6155mm×幅5050mm×高さ3210mm 長さ6500mm×幅4750mm×高さ3200mm 長さ7800mm×幅5200mm×高さ2600mm
コーティング色 チタニウムゴールド、ローズゴールド、ガンブラック、クロームホワイト、サファイアブルー、ブロンズなど
コーティングフィルム 単純金属膜(Al/Ti/Cr)、金属化合物膜(TiN/CrN/ZrN);膜硬度は800~3000HVで、優れた密着性を有する
掃除システム 拡散ポンプ/ターボ分子ポンプ+ブースターポンプ+ロータリーバネポンプ+保持ポンプ(低温ポンプおよびポリコールドはオプション)
最終真空度 5×10 -4Pa(清掃済み・空のチャンバー)
回転システム 惑星式回転・公転
6/8/10/12/16軸
コーティングシステム Dmf ®-ARCカソード
IET ®エッチングソース
分散型MFCガス供給系
電源 パルスアーク電源/パルスバイアス電源/プラズマ電源
オペレーションシステム 完全自動(IPC/PLC)+遠隔操作+アラームシステム
(OPC-UAリンクプロトコル対応)
備考 具体的な構成サイズは、顧客のコーティング対象製品の要件に応じて設計可能です。

用途

ステンレス鋼製品、ハードウェア部品、セラミック装飾品、ガラス製品、環境配慮型電気めっきの代替品、バッグおよび衣類用ハードウェア、キッチン・バスルーム用装飾部品などに広く使用されており、多彩な色調を表現でき、均一かつ緻密な膜を形成する。

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