Máy phủ phún xạ là một loại máy đặc biệt giúp phủ một lớp vật liệu mỏng lên các vật thể. Quá trình này rất quan trọng trong nhiều lĩnh vực như điện tử, quang học và nghiên cứu khoa học. Khi bạn cần một lớp phủ cực mỏng và đồng đều, một thiết bị phủ chân không thường là lựa chọn tốt nhất. Các công ty như CICEL sản xuất những máy này nhằm hỗ trợ các doanh nghiệp khác tạo ra các sản phẩm chất lượng cao. Những máy này hoạt động dựa trên quy trình gọi là phún xạ (sputtering), trong đó các hạt cực nhỏ của vật liệu đích bị bật ra và sau đó bám lên bề mặt vật cần phủ. Quy trình này có thể giúp vật phẩm trông sáng bóng hơn hoặc cải thiện hiệu suất hoạt động của chúng.
Các thiết bị phủ bằng phương pháp phun xạ (sputter coaters) rất quan trọng trong việc chế tạo màng mỏng vì chúng có thể tạo ra các lớp cực kỳ mỏng, đôi khi chỉ dày vài nguyên tử! Đây là yếu tố thiết yếu trong nhiều ngành công nghiệp. Chẳng hạn, trong lĩnh vực điện tử, các linh kiện siêu nhỏ cấu thành mạch điện cần những lớp mỏng này để hoạt động đúng cách. Nếu lớp phủ quá dày, mạch điện có thể không vận hành bình thường. Thiết bị phủ bằng phương pháp phun xạ sử dụng khí để hỗ trợ di chuyển các hạt từ vật liệu đích tới bề mặt của vật cần phủ. Một loại khí quan trọng thường được sử dụng là argon. Khi dùng argon, khí này giúp tách các hạt ra khỏi vật liệu đích. Quá trình này được kiểm soát rất cẩn thận nhằm đảm bảo lớp phủ đồng đều và mịn.