Máy Phủ Chân Không PVD Độ Chính Xác Quang Học

Lập trình hệ thống màng nhiều lớp
Dòng chùm tia súng điện tử có thể điều khiển
Giám sát độ dày màng bằng tinh thể thạch anh

Giới thiệu

Sử dụng công nghệ tổng hợp bốc hơi bằng chùm electron / phún xạ magnetron với sự hỗ trợ của nguồn ion, được thiết kế đặc biệt cho các màng quang học đa lớp chính xác nhằm đạt được độ đồng đều cao, độ tinh khiết cao và độ chính xác cao trong quá trình lắng đọng màng quang học.

Công nghệ cốt lõi

■ Giám sát độ dày màng kép (tinh thể/quang học), điều khiển vòng kín hoàn toàn tự động

■ Cấu trúc tích hợp theo chiều dọc, chiếm diện tích nhỏ và dễ vận hành

■ Phủ với nguồn ion hỗ trợ, màng đặc và chắc chắn

■ Hai chế độ thủ công/tự động hoàn toàn, phù hợp cho cả nghiên cứu & phát triển và sản xuất hàng loạt

Ưu Điểm Chính

■ Hệ thống giám sát độ dày màng nhập khẩu, độ chính xác kiểm soát độ dày ≤±1%, khả năng lặp lại hệ thống màng xuất sắc

■ Làm sạch sơ bộ bằng nguồn ion, cải thiện đáng kể độ bám dính giữa màng và nền

■ Môi trường chân không cao, màng không chứa tạp chất, tỷ lệ tuân thủ hiệu suất quang học đạt 100%

■ Tương thích với nhiều quy trình phủ khác nhau, khả năng thích ứng quy trình mạnh

Cấu hình cơ bản

Mô hình	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Kích thước buồng	D1350mm*H1350mm	D1600mm*H1500mm	D2050mm*H1600mm
Power Load	67KW	86kW	105kw
Khu vực tiếp đất	Dài 5700mmRộng 4900mmCao 3050mm	Dài 6800mmRộng 5800mmCao 6780mm	Dài 8300mmRộng 7000mmCao 4200mm
Màng Phủ	Màng chống phản xạ (AR), màng chống bám vân tay (AF), màng phản xạ cao, màng lọc, màng chống phản xạ dải rộng (BBAR); độ cứng màng AF ≥6H, màng quang học đặc khít và không có lỗ kim
Hệ thống chân không	Bơm khuếch tán / Bơm phân tử tua-bin + Bơm tăng áp + Bơm cánh gạt quay + Bơm giữ chân không (bơm cryogenic và bơm Polycold là tùy chọn)
Hệ thống cuối cùng	5*10^-4Pa (Làm sạch và làm trống buồng)
Hệ thống xoay	Quay tự quay và quay quanh trục 6/8/10/12/16 trục

Hệ Thống Lớp Phủ	Tia điện tử kiểu E Nguồn ion buồng Hall Đường dẫn khí MFC phân tán CTM ^®Bộ giám sát độ dày tinh thể thạch anh


Bộ nguồn máy tính	Bộ nguồn cấp điện cho tia điện tử Nguồn cung cấp điện bằng plasma
Hệ điều hành	Toàn tự động (IPC/PLC) + Điều khiển từ xa + Hệ thống cảnh báo (Giao thức kết nối OPC-UA có sẵn)

Ghi chú	Kích thước cấu hình cụ thể có thể được thiết kế theo yêu cầu sản phẩm phủ lớp của khách hàng

Ứng dụng

Được sử dụng rộng rãi trong các ống kính máy ảnh điện thoại di động, ống kính quang học, kính mắt, kính hiển thị ô tô, linh kiện quang học VR/AR và bộ lọc chính xác, đồng thời có thể tạo ra lớp màng chính xác và đồng đều với hiệu ứng phong phú.