Máy phủ chân không PVD màng siêu cứng

Tốc độ lắng đọng cao
Buồng làm mát bằng nước hai lớp
Lưu trữ tự động công thức quy trình

Giới thiệu

Tích hợp công nghệ phún xạ ion đa cung có lọc và phún xạ từ không cân bằng, đặc biệt dùng để chế tạo các lớp phủ siêu cứng, chống mài mòn, chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn cho dụng cụ cắt và khuôn chính xác nhằm kéo dài tuổi thọ chi tiết gia công.

Công nghệ cốt lõi

■ Độ cứng lớp phủ lên đến 1800–3500HV, với khả năng chống mài mòn và chống ăn mòn cao

■ Giá đỡ phôi kiểu quay–quay hành tinh, bao phủ xuất sắc cho các chi tiết có hình dạng đặc biệt

■ Cấu hình nhiều mục tiêu, có khả năng tạo lớp phủ đa lớp dạng gradient phức hợp

■ Hệ thống điều khiển nhiệt độ vòng kín, kiểm soát chính xác nhiệt độ trong quá trình phủ

Ưu Điểm Chính

■ Công nghệ loại bỏ giọt kim loại đã được lọc, không xuất hiện giọt kim loại trên lớp phủ, bề mặt mịn, khả năng chống mài mòn được cải thiện đáng kể

■ Ăn mòn ion tăng cường bằng hai trường từ, độ bám dính lớp phủ cao, không bong tróc

■ Lớp phủ chịu nhiệt độ cao lên đến 1100℃, thích hợp cho cắt khô tốc độ cao

■ Tương thích với thép dụng cụ tốc độ cao, hợp kim cứng, thép làm khuôn, hợp kim nhôm và gốm, bao quát toàn bộ các tình huống ứng dụng công nghiệp

Cấu hình cơ bản

Mô hình	CCZK-700-HT	CCZK-1000-HT
Kích thước buồng	D700mm*H700mm	D1000mm*H1000mm
Power Load	140kw	170KW
Khu vực tiếp đất	L4460mmR4340mmC2290mm	Dài 5200 mm * Rộng 4800 mm * Cao 2700 mm
Màng Phủ	TiN, CrN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, AlCrSiN; Độ cứng 1800–3500 HV, khả năng chịu nhiệt tối đa 1100 ℃
Hệ thống chân không	Bơm khuếch tán / Bơm phân tử tua-bin + Bơm tăng áp + Bơm cánh gạt quay + Bơm giữ chân không (bơm cryogenic và bơm Polycold là tùy chọn)
Hệ thống xoay	Quay tự quay và quay quanh trục 6/8/10/12/16 trục

Chân Không Tối Đa	5*10^-4Pa (Buồng sạch và trống)
Hệ Thống Lớp Phủ	BTA ^®Catốt hồ quang lọc ống uốn IET ^®Nguồn ăn mòn Đường dẫn khí MFC phân tán Nguồn ion tuyến tính lớp anốt


Bộ nguồn máy tính	Nguồn cung cấp điện hồ quang xung / Nguồn cấp điện phân cực xung /Nguồn plasma/Nguồn HIPIMS/IET ^®điện
Hệ điều hành	Toàn tự động (IPC/PLC) + Điều khiển từ xa + Hệ thống cảnh báo (Giao thức kết nối OPC-UA có sẵn)

Ghi chú	Kích thước cấu hình cụ thể có thể được thiết kế theo yêu cầu sản phẩm phủ lớp của khách hàng

Ứng dụng

Được sử dụng rộng rãi trong các dụng cụ cắt, khuôn dập, linh kiện hàng không vũ trụ, thiết bị y tế và các bộ phận cơ khí chịu mài mòn, có khả năng tạo ra lớp màng siêu cứng với đặc tính đặc khít và đồng đều.