HMDSO SIO PVD真空金属蒸着装置

従来の蒸着装置をベースにアップグレードし、真空蒸着とHMDSOプラズマ重合堆積技術を統合。自動車用ランプリフレクター向けの金属反射層とシリコーンオイル保護膜の重ね塗りを一度で完了し、従来のスプレープロセスを置き換えます。 .

■ アルミニウム蒸着とHMDSOシリコン油保護膜の2工程を、真空チャンバー内で同期して実行

■ 完全自動真空クローズドループ制御により、反射層および保護膜の厚さを高精度かつ制御可能に

■ 膜は耐熱性（≥200℃）に優れ、照明用ランプの長期高温作業環境に適しています

■ 一般アルミニウム蒸発蒸着との互換性を有し、生産モードの迅速な切替が可能

■ 蒸着＋保護膜の一体成形により、二次工程を不要とし、生産効率を60％向上

■ HMDSOプラズマ堆積膜は緻密で、耐熱性・耐老化性に優れ、自動車用ランプの長期高温作業条件に適しています

■ 金属反射層の均一性が高く、安定した反射効率を維持。黄変や剥離がありません

■ 溶剤不使用の環境配慮型プロセスで、VOC排出ゼロ。自動車産業の環境規制基準に適合

モデル	CCZK-1000PL	CCZK-1200PL	CCZK-1400PL	CCZK-1800PL	CCZK-2000PL
部屋の大きさ	直径1000mm×高さ1200mm	直径1200mm×高さ1500mm	直径1400mm×高さ1600mm	直径1800mm×高さ2000mm	直径2000mm×高さ2200mm
パワーロード	53kW	60KW	83kW	113kw	125kW
エリア内荷重	長さ3100mm×幅4800mm×高さ2700mm	長さ3600mm×幅5060mm×高さ2700mm	長さ4200mm×幅6550mm×高さ3100mm	長さ7000mm×幅8500mm×高さ3250mm	長さ8000mm×幅9100mm×高さ3700mm
コーティング色	明るいシルバー、高反射シルバー
コーティングフィルム	アルミニウム金属反射層＋HMDSOシリコーン油保護フィルム；HMDSO保護フィルムの硬度≥3H、耐熱性≥200℃、KOH／NaOH試験合格
掃除システム	拡散ポンプ／ターボ分子ポンプ＋ブースターポンプ＋ロータリーバネポンプ＋保持ポンプ（低温ポンプおよびポリコールドはオプション）
究極のシステム	5*10^-4Pa（清掃・空 chamber）
回転システム	惑星式回転・公転 6／8／10／12／16軸

コーティングシステム	ヘビーコース ^®蒸発源分散型MFCガス供給系 HMDSE ^®SIO複合堆積装置


電源	蒸発電力／プラズマ電力
オペレーションシステム	完全自動（IPC／PLC）＋遠隔操作＋アラームシステム（OPC-UAリンクプロトコル対応）

備考	具体的な構成サイズは、顧客のコーティング対象製品の要件に応じて設計可能です。