大規模装飾用PVD真空コーティング装置

高効率真空装置
大容量垂直型チャンバー
デュアルダイナミックマグネティックカソード

はじめに

垂直大型チャンバー構造、マルチアークイオン＋マグネトロンスパッタリング複合プロセスを採用し、均一で光沢があり耐候性に優れたカラーデコレーションフィルムを成膜可能。従来の電気めっきを代替します。

核心技術

■ マルチアーチ＋マグネトロンスパッタリング複合プロセスにより、フルカラー対応かつ薄膜の密着性が優れる

■ 耐摩耗性・耐傷性・汗腐食耐性に優れ、長寿命

■ 取り外し可能な回転式台車を採用。搬入／搬出とコーティングを同時に行い、高効率

■ リモート監視機能により、装置の運転状態をリアルタイムで制御可能

コアな利点

■ 豊富なコーティング色展開、高い色均一性、ロット間ばらつきゼロ（100％バッチ一貫性）、塩水噴霧耐性試験の高レベル基準合格

■ 回転＋公転式ワークホルダーにより、360°無死角コーティングを実現

■ 環境配慮設計：重金属排出ゼロ、EU規格適合

■ 1ボタンによる完全自動運転、短納期・高生産能力

基本構成

モデル	CCZK-2030-ION	CCZK-2335-ION	CCZK-2545-ION	CCZK-2565-ION
部屋の大きさ	D2000mm×H3000mm	D2300mm×H3500mm	D2500mm×H4500mm	D2500mm×H6500mm
パワーロード	243kW	270kW	290kW	536kW
設置面積	L8000mm×W13000mm×H4000mm	L10000mm×W11500mm×H4600mm	L11000mm×W12500mm×H5600mm	L11000mm×W12500mm×H7800mm
コーティング色	チタニウムゴールド、ローズゴールド、ガンブラック、シャンパンゴールド、サファイアブルー、コーヒー、レインボー、ブライトクロムなど
コーティングフィルム	TiN、TiCN、TiC、AlTiN、CrN、ZrN、CrC；装飾用フィルムの硬度：600～1200HV、塩水噴霧耐性：≥96時間
掃除システム	拡散ポンプ／ターボ分子ポンプ＋ブースターポンプ＋ロータリーバネポンプ＋保持ポンプ（低温ポンプおよびポリコールドはオプション）
最終真空度	5×10 ^-4Pa（清掃済み・空のチャンバー）
回転システム	プラネタリ回転・公転方式、取り外し可能なトロリー 6／8／10／12／16軸

コーティングシステム	Dmf ^®-ARCカソード IET ^®エッチングソース分散型MFCガス供給系


電源	パルスアーク電源／パルスバイアス電源／プラズマ電源
オペレーションシステム	完全自動（IPC／PLC）＋遠隔操作＋アラームシステム（OPC-UAリンクプロトコル対応）

備考	具体的な構成サイズは、顧客のコーティング対象製品の要件に応じて設計可能です。