Установка вакуумного напыления методом PVD для получения сверхтвердых пленок

Высокая скорость осаждения
Двухслойная вакуумная камера с водяным охлаждением
Автоматическое хранение технологических рецептов

Введение

Интегрирует отфильтрованную технологию ионного напыления с несколькими дугами и несбалансированного магнетронного распыления, специально предназначенную для получения сверхтвёрдых износостойких, жаропрочных и коррозионностойких покрытий для режущего инструмента и прецизионных пресс-форм с целью увеличения срока службы обрабатываемых деталей.

Основные технологии

■ Твердость покрытия достигает 1800–3500 HV, обеспечивая высокую износостойкость и коррозионную стойкость

■ Планетарный революционно-вращающийся держатель заготовки, превосходное обволакивание заготовок сложной формы

■ Многозадачная конфигурация, способна наносить многослойные композитные градиентные покрытия

■ Система контроля температуры с обратной связью, точный контроль температуры нанесения покрытия

Основные Преимущества

■ Технология фильтрации и удаления капель, отсутствие капель в покрытии, тонкая поверхность, значительно повышенная износостойкость

■ Усиленное ионное травление с использованием двойного магнитного поля, высокая адгезия пленки, отсутствие отслаивания

■ Жаростойкое покрытие до 1100 ℃, подходит для высокоскоростного сухого резания

■ Совместимо со скоростными сталями, твердыми сплавами, инструментальными сталями для штампов, алюминиевыми сплавами и керамикой — охватывает все промышленные сценарии применения

Базовая конфигурация

Модель	CCZK-700-HT	CCZK-1000-HT
Размер камеры	Ø700 мм × В700 мм	Ø1000 мм × В1000 мм
Power Load	140кВт	170кВт
Площадь установки	Д4460 мм × Ш4340 мм × В2290 мм	Д5200 мм × Ш4800 мм × В2700 мм
Покровные плёнки	TiN, CrN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, AlCrSiN; твёрдость 1800–3500 HV, максимальная термостойкость 1100 °C
Вакуумная система	Диффузионный насос / Турбомолекулярный насос + Ускорительный насос + Пластинчато-роторный насос + Поддерживающий насос (криогенный насос и поликолд — опционально)
Система вращения	Планетарное вращение и обращение 6/8/10/12/16 осей

Предел вакуума	5*10^-4Па (чистая и пустая камера)
Система покрытия	BTA ^®Изогнутый трубчатый фильтр с дуговым катодом IET ^®Источник травления Распределённый газовый тракт с массовым расходомером (MFC) Линейный ионный источник с анодным слоем


Блок питания	Импульсный дуговой источник питания / Импульсный источник смещения /Плазменная мощность/HIPIMS-мощность/IET ^®мощность
Операционная система	Полностью автоматизированная система (на базе промышленного компьютера IPC и программируемого логического контроллера PLC) + Дистанционное управление + Система аварийной сигнализации (Доступен протокол связи OPC-UA)

Примечание	Конкретные габариты конфигурации могут быть разработаны в соответствии с требованиями заказчика к наносимому покрытию

Область применения

Широко применяется для режущего инструмента, штампов, деталей авиакосмической техники, медицинских устройств и износостойких механических компонентов; позволяет формировать сверхтвёрдый плёнчатый слой с плотной и однородной структурой.