Машина за вакуумско премазивање ПВД-а са супер-тврдим филмом

Висока стопа депозиције
Двослојна водно охлађена комора
Автоматско складиштење рецепта за процес

Uvod

Интегрира филтриране мулти-арк јон и неуравнотежену магнетронску технологију прскања, посебно припрема супер-тврде, отпорне на зној, отпорне на високу температуру и отпорне на корозију премазе за резање алата и прецизне калупе како би

Основна технологија

■ Тврдоћа премаза је до 1800 ~ 3500ХВ, са високом отпорношћу на зношење и отпорност на корозију

■ Планетарни кружни носилац за делове, одличан затварање за специјално обличне делове

■ Конфигурација више мета, која може да покрива вишеслојне композитне градијентске филмове

■ Затворен систем контроле температуре, прецизна контрола температуре премаза

КОРЕВНЕ ПРЕДЛУГЕ

■ Технологија филтриране уклањања капи, нема капи у премазу, фина површина, значајно побољшана отпорност на зношење

■ Двоструко магнетно поље побољшано јонско оцртање, јака прилепљивост филма, без лупљења

■ Покрив отпоран на високе температуре до 1100 °C, погодан за брзу суво сечење

■ Компатибилан са брзим челиком, цементираним карбидом, челиком од калупа, алуминијумском легуром, керамиком, који покривају све индустријске сценарије

Основна конфигурација

Model	ЦЦЗК-700-ХТ	ЦЦЗК-1000-ХТ
Величина коморе	Д700мм*Х700мм	Д1000мм*Х1000мм
Power Load	140КВт	170КВт
Пољоприземље	Л4460ммВ4340ммХ2290мм	Л5200ммВ4800ммХ2700мм
Филмови за премазивање	ТиН, ЦРН, АлТиН, АлЦрН, ТиСиН, АлЦрСиН; Тврдоћа 1800 ~ 3500ХВ, максимална топлотна отпорност 1100°C
Вакуумски систем	Дифузијска пумпа/Турбо молекуларна пумпа +Пустер пумпа + Ротациона пумпа+Трпивна пумпа ((криогенска пумпа и полицолд је неопходно)
Ротациони систем	Планетарна ротација и револуција оси 6/8/10/12/16

Увршни вакуум	5*10^-4Па (чиста и празна комора)
Sistem za premazivanje	БТА ^®Катод лука филтера са савијачем ИЕТ ^®Извор за резирање Дистрибуиран пут МФЦ гаса Линеарни извор јона са анодним слојем


Снабдевање струјом	Импулсирана АРЦ снага / Импулсирана Биас снага /Плазмену снагу/Пораст ХИПИМС/ИЕТ ^®snagu
Оперативни систем	Потпуно аутоматски ((IPC/PLC) + Даљински рад + Аларман систем (Протокол ОПЦ-УА линк доступан)

Napomena	Величина специфичне конфигурације може се дизајнирати у складу са захтевима производа за премазивање клијента

Primena

Широко се користи у резању алата, штампању, ваздухопловним деловима, медицинским уређајима и механичким компонентама отпорним на зношење, може формирати ултра-тврди слој филма са густим и равномерним својствима.