Superharte-Film-PVD-Vakuum-Beschichtungsmaschine

Hohe Abscheidungsrate
Wassergekühlte Kammer mit doppelter Wand
Automatische Speicherung von Prozessrezepten

Einleitung

Integriert gefilterte Multi-Bogen-Ionen- und unausgeglichene Magnetron-Sputter-Technologie und bereitet speziell superharte, verschleißfeste, hochtemperaturbeständige und korrosionsbeständige Beschichtungen für Schneidwerkzeuge und Präzisionsformen vor, um die Lebensdauer der Werkstücke zu verlängern.

Kerntechnologie

■ Die Härte der Beschichtung beträgt bis zu 1800–3500 HV, mit hoher Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit

■ Planetarisches Revolutions-Drehhalter-System für Werkstücke – hervorragende Umhüllung auch für werkstücke mit komplexer Geometrie

■ Mehrfach-Ziel-Konfiguration, geeignet zur Abscheidung mehrschichtiger, zusammengesetzter Gradientenbeschichtungen

■ Regelkreis-basiertes Temperaturkontrollsystem für eine präzise Steuerung der Beschichtungstemperatur

Kernvorteile

■ Gefilterte Tropfenentfernungstechnologie: keine Tropfen in der Beschichtung, feine Oberfläche, deutlich verbesserte Verschleißfestigkeit

■ Doppelfeld-verstärkte Ionenätzung mit starker Haftfestigkeit der Schicht und keiner Ablösung

■ Hochtemperaturbeständige Beschichtung bis zu 1100 °C, geeignet für hochgeschwindigkeitsfähiges Trockenfräsen

■ Kompatibel mit Schnellarbeitsstahl, Hartmetall, Werkzeugstahl, Aluminiumlegierungen und Keramik – abdeckend sämtliche industrielle Anwendungsszenarien

Grundkonfiguration

Modell	CCZK-700-HT	CCZK-1000-HT
Kammergröße	D700 mm × H700 mm	D1000 mm × H1000 mm
Power Load	140kw	170kW
Landefläche	L4460 mm × B4340 mm × H2290 mm	L5200 mm × B4800 mm × H2700 mm
Beschichtungsfolien	TiN, CrN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, AlCrSiN; Härte 1800–3500 HV, maximale Temperaturbeständigkeit 1100 °C
Vakuumsystem	Diffusionspumpe/Turbo-Molekularpumpe + Vorschubpumpe + Drehschieberpumpe + Haltepumpe (kryogene Pumpe und Polycold sind optional)
Rotationssystem	Planetares Dreh- und Kreisbewegungssystem 6/8/10/12/16 Achsen

Endvakuum	5*10^-4Pa (saubere und leere Kammer)
Beschichtungssystem	BTA ^®Biegerohrfilter-Bogenkathode IET ^®Ätzquelle Verteilte MFC-Gasführung Lineare Ionenquelle mit Anodenschicht


Netzteil	Impulslichtbogen-Stromversorgung / Impuls-Vorspannungs-Stromversorgung /Plasma-Stromversorgung/HIPIMS-Stromversorgung/IET ^®leistung
Betriebssystem	Vollautomatisch (IPC/PLC) + Fernbedienung + Alarmystem (OPC-UA-Verbindungsprotokoll verfügbar)

Anmerkung	Die konkrete Konfigurationsgröße kann entsprechend den Beschichtungsanforderungen des Kunden für das jeweilige Produkt ausgelegt werden

Anwendung

Wird breit in Schneidwerkzeugen, Stanzwerkzeugen, Luft- und Raumfahrtkomponenten, medizinischen Geräten sowie verschleißfesten mechanischen Komponenten eingesetzt; ermöglicht die Abscheidung einer ultraharten Schicht mit dichter und homogener Struktur.