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초경질 필름 PVD 진공 코팅 기계

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초경질 필름 PVD 진공 코팅 기계

  • 고증착 속도
  • 이중층 수냉식 챔버
  • 자동 공정 레시피 저장

서론

여과된 다중 아크 이온 및 불균형 마그네트론 스퍼터링 기술을 통합하여 절삭 공구 및 정밀 금형용 초경질 내마모성, 고온 저항성 및 내식성 코팅을 특별히 제조함으로써 작업물의 수명을 연장합니다.

핵심 기술

■ 코팅 경도는 최대 1800~3500HV로, 높은 내마모성 및 내식성을 갖춤

■ 행성식 공전-회전 워크피스 홀더로, 특수 형상의 워크피스에 대한 우수한 감싸기 성능

■ 다중 타겟 구성으로, 다층 복합 기울기 필름 코팅 가능

■ 폐루프 온도 제어 시스템으로, 정밀한 코팅 온도 제어

핵심 장점

■ 여과된 드롭렛 제거 기술로, 코팅 내 드롭렛 없음, 매끄러운 표면, 마모 저항성 대폭 향상

■ 이중 자기장 강화 이온 에칭으로, 강력한 필름 접착력, 박리 없음

■ 최고 1100℃까지 견딜 수 있는 고온 내열 코팅으로, 고속 건식 절삭에 적합

■ 고속강, 초경합금, 금형강, 알루미늄 합금, 세라믹 등과 호환되며, 모든 산업용 시나리오를 포괄

기본 구성

모델 CCZK-700-HT CCZK-1000-HT
챔버 크기 D700mm*H700mm D1000mm*H1000mm
파워 로드 140kw 170kW
착지 영역 L4460mm*W4340mm*H2290mm L5200mm*W4800mm*H2700mm
코팅 필름 TiN, CrN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, AlCrSiN; 경도 1800~3500HV, 최대 내열 온도 1100℃
진공 시스템 확산 펌프/터보 분자 펌프 + 부스터 펌프 + 회전 베인 펌프 + 홀딩 펌프(저온 펌프 및 폴리콜드는 선택 사양)
회전 시스템 행성식 회전 및 공전
6/8/10/12/16축
최종 진공도 5*10-4 Pa (청결하고 비어 있는 챔버)
코팅 시스템 BTA ®벤딩 튜브 필터 아크 캐소드
IET ®에칭 소스
분산형 MFC 가스 경로
양극층 선형 이온 소스
전원 공급 장치 펄스 아크 전원 / 펄스 바이어스 전원
/플라즈마 전원/HIPIMS 전원/IET ®전력
운영 체제 완전 자동화(IPC/PLC) + 원격 조작 + 경보 시스템
(OPC-UA 링크 프로토콜 지원)
비고 구체적인 구성 크기는 고객의 코팅 제품 요구 사항에 따라 설계할 수 있습니다


응용 분야

절삭 공구, 프레스 다이, 항공우주 부품, 의료 기기 및 내마모성 기계 부품 등에 광범위하게 사용되며, 밀도가 높고 균일한 특성을 갖는 초경질 필름층을 형성할 수 있음.

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