여과된 다중 아크 이온 및 불균형 마그네트론 스퍼터링 기술을 통합하여 절삭 공구 및 정밀 금형용 초경질 내마모성, 고온 저항성 및 내식성 코팅을 특별히 제조함으로써 작업물의 수명을 연장합니다.
■ 코팅 경도는 최대 1800~3500HV로, 높은 내마모성 및 내식성을 갖춤
■ 행성식 공전-회전 워크피스 홀더로, 특수 형상의 워크피스에 대한 우수한 감싸기 성능
■ 다중 타겟 구성으로, 다층 복합 기울기 필름 코팅 가능
■ 폐루프 온도 제어 시스템으로, 정밀한 코팅 온도 제어
■ 여과된 드롭렛 제거 기술로, 코팅 내 드롭렛 없음, 매끄러운 표면, 마모 저항성 대폭 향상
■ 이중 자기장 강화 이온 에칭으로, 강력한 필름 접착력, 박리 없음
■ 최고 1100℃까지 견딜 수 있는 고온 내열 코팅으로, 고속 건식 절삭에 적합
■ 고속강, 초경합금, 금형강, 알루미늄 합금, 세라믹 등과 호환되며, 모든 산업용 시나리오를 포괄
| 모델 | CCZK-700-HT | CCZK-1000-HT |
| 챔버 크기 | D700mm*H700mm | D1000mm*H1000mm |
| 파워 로드 | 140kw | 170kW |
| 착지 영역 | L4460mm*W4340mm*H2290mm | L5200mm*W4800mm*H2700mm |
| 코팅 필름 | TiN, CrN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, AlCrSiN; 경도 1800~3500HV, 최대 내열 온도 1100℃ | |
| 진공 시스템 | 확산 펌프/터보 분자 펌프 + 부스터 펌프 + 회전 베인 펌프 + 홀딩 펌프(저온 펌프 및 폴리콜드는 선택 사양) | |
| 회전 시스템 | 행성식 회전 및 공전 6/8/10/12/16축 |
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| 최종 진공도 | 5*10-4 Pa (청결하고 비어 있는 챔버) | |
| 코팅 시스템 | BTA ®벤딩 튜브 필터 아크 캐소드 IET ®에칭 소스 분산형 MFC 가스 경로 양극층 선형 이온 소스 |
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| 전원 공급 장치 | 펄스 아크 전원 / 펄스 바이어스 전원 /플라즈마 전원/HIPIMS 전원/IET ®전력 |
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| 운영 체제 | 완전 자동화(IPC/PLC) + 원격 조작 + 경보 시스템 (OPC-UA 링크 프로토콜 지원) |
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| 비고 | 구체적인 구성 크기는 고객의 코팅 제품 요구 사항에 따라 설계할 수 있습니다 | |
절삭 공구, 프레스 다이, 항공우주 부품, 의료 기기 및 내마모성 기계 부품 등에 광범위하게 사용되며, 밀도가 높고 균일한 특성을 갖는 초경질 필름층을 형성할 수 있음.





