Superhårdfilms-PVD-vakuumbelägningsmaskin

Hög avsättningshastighet
Tvålagers vattenkyld kammare
Automatisk lagring av processrecept

Introduktion

Integrerar filtrerad multi-arc-jon- och obalanserad magnetron-sprutningsteknik, särskilt utvecklad för att tillverka superhårda slitbeständiga, högtemperaturbeständiga och korrosionsbeständiga beläggningar för skärande verktyg och precisionsformar för att förlänga arbetsstyckens livslängd.

Grundteknik

■ Beläggningshårdhet upp till 1800–3500 HV, med hög slitställighet och korrosionsbeständighet

■ Planetarisk revolution-roterande arbetsstycksfattare, utmärkt omslutning för arbetsstycken med speciella former

■ Flermålskonfiguration, kapabel att belägga flerskiktskompositgradientfilmer

■ Slutet temperaturregleringssystem, exakt temperaturreglering under beläggning

Kärnfördelar

■ Filtrerad droppborttagningsteknik, inga droppar i beläggningen, fin yta, avsevärt förbättrad slitstabilitet

■ Dubbel magnetfältförstärkt jonätning, stark filmhäftning, ingen avlossning

■ Högtemperaturbeständig beläggning upp till 1100 °C, lämplig för snabb torrskärning

■ Kompatibel med snabbstål, sinterat hårdmetall, formstål, aluminiumlegeringar och keramik, täcker alla industriella scenarier

Grundkonfiguration

Modell	CCZK-700-HT	CCZK-1000-HT
Kammarstorlek	D700 mm × H700 mm	D1000 mm × H1000 mm
Power Load	140kw	170 kW
Landningsyta	L4460 mm × B4340 mm × H2290 mm	L5200 mm × B4800 mm × H2700 mm
Omfärgningslager	TiN, CrN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, AlCrSiN; hårdhet 1800–3500 HV, maximal värmetålig 1100 °C
Vakuumsystem	Diffusionspump/turbo-molekylär pump + förstärkarpump + rotationsvanespump + hållpump (kryopump och polycold är valfritt)
Rotationssystem	Planetarisk rotation och revolution 6/8/10/12/16 axlar

Slutgiltigt vakuum	5*10^-4Pa (Ren och tom kammare)
Beläggningssystem	BTA ^®Böjningsrörfilterbågkatod IET ^®Ätzkälla Distribuerad MFC-gasväg Linjär jonkälla för anodlager


Strömförsörjningsaggregat	Pulserad ARC-strömförsörjning / Pulserad bias-strömförsörjning /Plasmakraft/HIPIMS-kraft/IET ^®ström
Operativsystem	Fullt automatiskt (IPC/PLC) + Fjärrdrift + Larmsystem (OPC-UA-länkprotokoll tillgängligt)

Kommentar	Den specifika konfigurationsstorleken kan anpassas enligt kundens krav på beläggningsprodukter

Ansökan

Används omfattande för skärande verktyg, stansverktyg, luft- och rymdfartsdelar, medicintekniska apparater samt slitagebeständiga mekaniska komponenter; kan bilda ett ultrahårt filmskikt med täta och enhetliga egenskaper.