Superharde-film-PVD-vacuumbekleedingsmachine

Hoge afzettingsnelheid
Dubbellagige watergekoelde kamer
Automatische opslag van procesrecepten

Inleiding

Integreert gefilterde multi-boog-ion- en ongebalanceerde magnetron-sputtertechnologie, speciaal ontwikkeld voor het aanbrengen van superharde slijtvaste, hittebestendige en corrosiebestendige coatings op snijgereedschappen en precisievormen om de levensduur van werkstukken te verlengen.

Kerntechnologie

■ De hardheid van de coating bedraagt tot 1800–3500 HV, met een hoge slijtvastheid en corrosieweerstand

■ Planetaire revolutie-roterende werkstukhouder, uitstekende omsluiting voor werkstukken met speciale vormen

■ Configuratie met meerdere doelobjecten, geschikt voor het aanbrengen van meervoudige, gelaagde composietgradiëntcoatings

■ Gesloten temperatuurregelingscyclus, nauwkeurige temperatuurregeling tijdens de coatingtoepassing

Kernvoordelen

■ Gefilterde druppelverwijderingstechnologie: geen druppels in de coating, fijne oppervlakte, aanzienlijk verbeterde slijtvastheid

■ Dubbele magnetische veldversterkte ionenetsing: sterke hechting van de coating, geen afschilfering

■ Hittebestendige coating tot 1100 °C, geschikt voor sneldraaiende droge bewerking

■ Compatibel met sneldraaistalen, gesinterd carbide, matrijsstaal, aluminiumlegeringen en keramiek, waardoor alle industriële toepassingsgebieden worden gedekt

Basisconfiguratie

Model	CCZK-700-HT	CCZK-1000-HT
Chamber size	D700 mm × H700 mm	D1000 mm × H1000 mm
Power Load	140kw	170kW
Landingsgebied	L4460 mm × B4340 mm × H2290 mm	L5200 mm × B4800 mm × H2700 mm
Coatingfilms	TiN, CrN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, AlCrSiN; Hardheid 1800–3500 HV, maximale hittebestendigheid 1100 °C
Vacuümsysteem	Diffusiepomp/turbomoleculaire pomp + boosterpomp + draaivleugelpomp + houdpomp (cryopomp en polycold zijn optioneel)
Roteersysteem	Planetaire rotatie en revolutie 6/8/10/12/16-assig

Uiteindelijke Vacuüm	5*10^-4Pa (schone en lege kamer)
Coatingsysteem	BTA ^®Boogkathode met gebogen buisfilter IET ^®Etsbron Gedistribueerd MFC-gaspad Anodelaag lineaire ionenbron


Stroomvoorziening	Pulsarcsvermogen / Pulsbiasvermogen /Plasma-voeding/HIPIMS-voeding/IET ^®vermogen
Besturingssysteem	Volledig automatisch (IPC/PLC) + bediening op afstand + alarmsysteem (OPC-UA-koppelingsprotocol beschikbaar)

Opmerking	De specifieke configuratie-afmeting kan worden ontworpen op basis van de coatingproductvereisten van de klant

Toepassing

Wijd gebruikt in snijgereedschap, stempelmalen, lucht- en ruimtevaartonderdelen, medische apparatuur en slijtvaste mechanische onderdelen; het kan een ultraharde folielaag vormen met dichte en uniforme eigenschappen.