비균형 폐쇄형 마그네트론 스퍼터링/FCVA 필터링 캐소드 아크 기술을 채택하여, 저온에서 수소 함유/무수소 DLC 코팅막을 증착하며, 마찰 계수가 낮고, 내마모성이 뛰어나며, 자체 윤활 특성을 갖습니다
■ 독립형 DLC 공정, 낮은 박막 응력으로 균열 또는 박리 없음
■ 3D 탈착식 랙, 간편한 클램핑으로 다양한 작업물에 적합
■ 완전 자동화 운영 시스템, 공정 파라미터를 한 번의 키 조작으로 호출 가능
■ 다양한 DLC 박막 시스템과 호환되어 다양한 작업 조건을 충족
■ 마찰 계수 ≤0.15, 우수한 자체 윤활성으로 추가 윤활 필요 없음
■ 수소 불함유 ta-C 코팅 경도 최대 63GPa, 뛰어난 내마모성
■ 저온(100~200℃) 증착으로 열에 민감한 기재에 적합
■ 밀도 높은 박막으로 산·알칼리 및 부식 저항성, 염수 분무 저항성
| 모델 | CCZK-1012-DLC | CCZK-1416-DLC | |||
| 챔버 크기 | 지름 1000mm × 높이 1200mm | 지름 1400mm × 높이 1600mm | |||
| 파워 로드 | 140kw | 170kW | |||
| 착지 영역 | 길이 5400mm × 폭 5200mm × 높이 2900mm | 길이 6155mm × 폭 5050mm × 높이 3210mm | |||
| 코팅 색상 | 검정, 다크 그레이, 매트 블랙, 무지개 | ||||
| 코팅 필름 | 수소 함유 DLC, 수소 불함유 ta-C, W-DLC, GLC, WC/C; 경도 1500HV~63GPa, 마찰 계수 ≤0.15 | ||||
| 진공 시스템 | 확산 펌프/터보 분자 펌프 + 부스터 펌프 + 회전 베인 펌프 + 홀딩 펌프(저온 펌프 및 폴리콜드는 선택 사양) | ||||
| 최종 진공도 | 5*10 -4Pa (청결하고 비어 있는 챔버) | ||||
| 회전 시스템 | 행성식 회전 및 공전 6/8/10/12/16축 |
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| 코팅 시스템 | CKB ®평면 스퍼터링 캐소드 / CKB ®실린더 로드 스퍼터링 캐소드 / IET ®에칭 / 분산형 MFC 가스 경로 / HIPIMS 스퍼터링 |
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| 전원 공급 장치 | 펄스 DC 스퍼터링 전원 / 양극성 스퍼터링 전원 / RF 스퍼터링 전원 / 펄스 바이어스 전원 / HIPIMS 전원 / IET ®전력 |
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| 운영 체제 | 완전 자동화(IPC/PLC) + 원격 조작 + 경보 시스템 (OPC-UA 링크 프로토콜 지원) |
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| 비고 | 구체적인 구성 크기는 고객의 코팅 제품 요구 사항에 따라 설계할 수 있습니다 | ||||
엔진 피스톤, 슬라이딩 실링, 비철금속 절삭 공구, 의료 기기, 정밀 스마트폰 부품, 고급 장식 부품 등에 광범위하게 사용되며, 밀도 높은 박막을 형성할 수 있음.
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