DLC-diamantachtige koolstof PVD-coatingmachine

PVD+PECVD DLC C oating
Afscheidingsmethode bij lage temperatuur
Magnetron-sputterbron met meerdere doelen

Inleiding

Gebruikt ongebalanceerde gesloten magnetron-sputtertechnologie/FCVA-gefilterde kathodeboogtechnologie, waarmee een DLC-coatingfilm met of zonder waterstof wordt afgezet bij lage temperatuur, met lage wrijving, hoge slijtvastheid en zelfsmerende eigenschappen

Kerntechnologie

■ Onafhankelijk DLC-proces, lage filmspanning, geen barsten of afschilferen

■ 3D-demonteerbaar rek, eenvoudig vastzetten, geschikt voor diverse werkstukken

■ Volledig automatisch bedieningssysteem, één-knop-aanroep van procesparameters

■ Compatibel met diverse DLC-filmsystemen om aan verschillende werkomstandigheden te voldoen

Kernvoordelen

■ Wrijvingscoëfficiënt ≤ 0,15, uitstekende zelfsmering, geen extra smering vereist

■ Waterstofvrije ta-C-coating met een hardheid tot 63 GPa, uitstekende slijtvastheid

■ Afscheiding bij lage temperatuur (100–200 °C), geschikt voor warmtegevoelige substraten

■ Dichte film, bestand tegen zuren en alkaliën, corrosiebestendig, bestand tegen zoutnevel

Basisconfiguratie

Model	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Chamber size	D1000 mm × H1200 mm	D1400 mm × H1600 mm
Power Load	140kw	170kW
Landingsgebied	L5400 mm × B5200 mm × H2900 mm	L6155 mm × B5050 mm × H3210 mm
Coatingkleuren	Zwart, Donkergrijs, Matzwart, Regenboog
Coatingfilms	DLC met waterstof, ta-C zonder waterstof, W-DLC, GLC, WC/C; Hardheid 1500 HV tot 63 GPa, wrijvingscoëfficiënt ≤ 0,15
Vacuümsysteem	Diffusiepomp/turbomoleculaire pomp + boosterpomp + draaivleugelpomp + houdpomp (cryopomp en polycold zijn optioneel)
Uiteindelijke Vacuüm	5 × 10 ^-4Pa (schone en lege kamer)
Roteersysteem	Planetaire rotatie en revolutie 6/8/10/12/16-assig

Coatingsysteem	CKB ^®Planair sputterkathode / CKB ^®Cilindrische staaf-sputterkathode / IET ^®Etsen / Gedistribueerd MFC-gaspad / HIPIMS-sputteren


Stroomvoorziening	Gepulste gelijkstroom-sputtervermogen / Bipolaire sputtervermogen / RF-sputtervermogen / Pulsed-biasvermogen / HIPIMS-vermogen / IET ^®vermogen
Besturingssysteem	Volledig automatisch (IPC/PLC) + bediening op afstand + alarmsysteem (OPC-UA-koppelingsprotocol beschikbaar)

Opmerking	De specifieke configuratie-afmeting kan worden ontworpen op basis van de coatingproductvereisten van de klant

Toepassing

Wijd gebruikt in motorpistons, glijdende afdichtingen, snijgereedschappen voor non-ferro metalen, medische apparatuur, precisie-onderdelen voor mobiele telefoons en hoogwaardige decoratieve onderdelen, en kan een dichte film vormen.