ДЛЦ Дијамант-лике Карбон ПВД Машина за премазивање

ПВД+ПЕЦВД ДЛЦ C оацти
Технологија нискотемпературног одлагања
Извор за магнетроновање са више мета

Uvod

Узима неуравнотежену затворену технологију магнетронског прскања/FCVA филтриране технологије катодног лука, депонира филм за покривање ДЛЦ који садржи водоник/без водоника на ниској температури, са ниским трчањем, високом отпорношћу на зношење и самома

Основна технологија

■ Независни ДЛЦ процес, мали напредак филма, без пуцања или лупљења

■ 3Д одвајни рек, лако запленење, погодан за различите делове

■ Потпуно аутоматски оперативни систем, један кључ за позив параметара процеса

■ Компатибилан са различитим ДЛЦ филмовима како би се задовољили различити услови рада

КОРЕВНЕ ПРЕДЛУГЕ

■ Коефицијент тријања ≤0,15, одлична самомасливост, без додатне мазивања

■ Тврдоћа та-Ц премаза без водоника до 63ГПа, одлична отпорност на зношење

■ Депозиција на ниске температуре (100 ~ 200 °C), погодна за топлотно осетљиве супстрате

■ Густа филмова, отпорна на киселине и алкалије, отпорна на корозију, отпорна на прскање соли

Основна конфигурација

Model	ЦЦЗК-1012-ДЛЦ	ЦЦЗК-1416-ДЛЦ
Величина коморе	Д1000мм*Х1200мм	Д1400мм*Х1600мм
Power Load	140КВт	170КВт
Пољоприземље	Л5400ммВ5200ммХ2900мм	Л6155ммВ5050ммХ3210мм
Боје за премазивање	Црна, тамно сива, матова црна, дъга
Филмови за премазивање	Водород садржајући ДЛЦ, без водорода ta-C, W-DLC, GLC, WC/C; Тврдоћа 1500HV ~ 63GPa, коефицијент тријања ≤0,15
Вакуумски систем	Дифузијска пумпа/Турбо молекуларна пумпа +Пустер пумпа + Ротациона пумпа+Трпивна пумпа ((криогенска пумпа и полицолд је неопходно)
Увршни вакуум	5* 10 ^-4Па (чиста и празна комора)
Ротациони систем	Планетарна ротација и револуција оси 6/8/10/12/16

Sistem za premazivanje	ЦКБ ^®Планарна катода за прскање / ЦКБ ^®Катода за прскање цилиндра / ИЕТ ^®Ецтинг / Дистрибуиран МФЦ гасни пут / ХИПИМС Путринг


Снабдевање струјом	Импулсирана ЦЦ Спуттеринг снага / Биполарна Спуттеринг снага / РФ путерње снаге / Пулсирана биас снага / ХИПИМС снага / ИЕТ ^®snagu
Оперативни систем	Потпуно аутоматски ((IPC/PLC) + Даљински рад + Аларман систем (Протокол ОПЦ-УА линк доступан)

Napomena	Величина специфичне конфигурације може се дизајнирати у складу са захтевима производа за премазивање клијента

Primena

Широко се користи у пистонима мотора, клизне пломбе, алатима за сечење нежелених метала, медицинским уређајима, прецизним компонентама за мобилне телефоне и високим декоративним деловима, и може формирати густ филм.