DLC-diamantliknande kol-PVD-beläggningsmaskin

PVD+PECVD DLC C oating
Lågtemperaturavlagringsteknik
Måltavlsbaserad magnetron-sputterkälla med flera mål

Introduktion

Använder obalanserad sluten magnetron-sputtring/FCVA-filtrerad katodbågsteknik för att avsätta en DLC-beläggningsfilm med eller utan väte vid låg temperatur, med låg friktion, hög nötningstålighet och självsmörjande egenskaper

Grundteknik

■ Oberoende DLC-process, liten filmspänning, inga sprickor eller flagningsproblem

■ 3D-avtagbar ställning, enkel spänning, lämplig för olika arbetsstycken

■ Fullt automatiskt operativsystem, enknapptillvägagångssätt för processparametrar

■ Kompatibel med olika DLC-filmsystem för att möta olika driftsförhållanden

Kärnfördelar

■ Friktionskoefficient ≤0,15, utmärkt självsmörjning, ingen ytterligare smörjning krävs

■ Vätefri ta-C-beläggning med hårdhet upp till 63 GPa, utmärkt slitagebeständighet

■ Avsättning vid låg temperatur (100–200 °C), lämplig för värmeempfindliga underlag

■ Tät film, motståndskraftig mot syror och baser, korrosionsbeständig, saltnebelsbeständig

Grundkonfiguration

Modell	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Kammarstorlek	D1000 mm * H1200 mm	D1400 mm * H1600 mm
Power Load	140kw	170 kW
Landningsyta	L5400 mm * B5200 mm * H2900 mm	L6155 mm * B5050 mm * H3210 mm
Omfärgningar	Svart, mörkgrå, mattsvart, regnbågsfärgad
Omfärgningslager	DLC med väte, ta-C utan väte, W-DLC, GLC, WC/C; hårdhet 1500 HV–63 GPa, friktionskoefficient ≤0,15
Vakuumsystem	Diffusionspump/turbo-molekylär pump + förstärkarpump + rotationsvanespump + hållpump (kryopump och polycold är valfritt)
Slutgiltigt vakuum	5*10 ^-4Pa (Ren och tom kammare)
Rotationssystem	Planetarisk rotation och revolution 6/8/10/12/16 axlar

Beläggningssystem	CKB ^®Planar sputterkathod / CKB ^®Cylinderrörsputterkathod / IET ^®Ätning / Distribuerad MFC-gasväg / HIPIMS-sputtring


Strömförsörjningsaggregat	Pulserad likströmssprutningskraft / Bipolär sprutningskraft / RF-sputtereffekt / Pulsad bias-effekt / HIPIMS-effekt / IET ^®ström
Operativsystem	Fullt automatiskt (IPC/PLC) + Fjärrdrift + Larmsystem (OPC-UA-länkprotokoll tillgängligt)

Kommentar	Den specifika konfigurationsstorleken kan anpassas enligt kundens krav på beläggningsprodukter

Ansökan

Används omfattande för motorpistonger, glidtätningar, verktyg för bearbetning av icke-järnmetaller, medicintekniska apparater, precisionskomponenter till mobiltelefoner samt högkvalitativa dekorativa delar och kan bilda en tät film.