DLC gyémántszerű szén PVD bevonó gép

PVD+PECVD DLC C lebegés
Alacsony hőmérsékleten történő lerakási technológia
Többcélpontos mágneses porlasztó forrás

Bevezetés

Az egyensúlytalan zárt mágneses aprító (unbalanced closed magnetron sputtering) és szűrt katódív (FCVA) technológiát alkalmazza, amely alacsony hőmérsékleten hidrogéntartalmú vagy hidrogénmentes DLC (gyémántszerű szén) bevonati réteget rak le, alacsony súrlódási tényezővel, magas kopásállósággal és önszennyeződés-elleni tulajdonságokkal

Alaptechnológia

■ Független DLC-folyamat, kis fóliafeszültség, nincs repedés vagy lehámlás

■ 3D-s leválasztható állvány, könnyű rögzítés, különféle munkadarabokhoz alkalmas

■ Teljesen automatizált működtető rendszer, egy gombbal történő folyamatparaméterek hívása

■ Kompatibilis különféle DLC-fólia-rendszerekkel, különböző munkakörülmények kielégítésére

Fő Előnyök

■ Súrlódási együttható ≤0,15, kiváló önmegkenési tulajdonság, további kenés nem szükséges

■ Hidrogénmentes ta-C bevonat keménysége akár 63 GPa is lehet, kiváló kopásállóság

■ Alacsony hőmérsékleten (100–200 °C) történő lerakódás, hőérzékeny alapanyagokhoz alkalmas

■ Sűrű fólia, sav- és lúgálló, korroziónálló, sópermet-álló

Alapösszetétel

Modell	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Kameralap mérete	Átmérő 1000 mm × Magasság 1200 mm	Átmérő 1400 mm × Magasság 1600 mm
Töltött Hordozás	140kw	170kW
Leszállási terület	Hosszúság 5400 mm × Szélesség 5200 mm × Magasság 2900 mm	Hosszúság 6155 mm × Szélesség 5050 mm × Magasság 3210 mm
Bevonat színek	Fekete, sötét szürke, mattnegyed, szivárvány
Bevonati filmek	Hidrogént tartalmazó DLC, hidrogénmentes ta-C, W-DLC, GLC, WC/C; keménység: 1500 HV–63 GPa, súrlódási együttható ≤ 0,15
Vákuumrendszer	Difúziós szivattyú / turbomolekuláris szivattyú + segédszivattyú + forgólapátos szivattyú + tartós szivattyú (kriogén szivattyú és polycold szivattyú opcionális)
Legjobb Vakuum	5 × 10 ^-4Pa (Tiszta és üres kamra)
Forgó rendszer	Bolygókeringés és -forgás 6/8/10/12/16 tengely

Bevonatrendszer	CKB ^®Síkfelületi felcserélő katód / CKB ^®Henger rúd felcserélő katód / IET ^®Maratás / Elosztott MFC gázelvezetés / HIPIMS felcserélés


Tápegység	Impulzusos egyenáramú felületi lemezeltetési teljesítmény / Bipoláris felületi lemezeltetési teljesítmény / RF felcserélő teljesítmény / Impulzusos feszültségforrás teljesítmény / HIPIMS teljesítmény / IET ^®teljesítmény
Működési Rendszer	Teljesen automatizált (IPC/PLC) + Távoli működtetés + Riasztórendszer (OPC-UA kapcsolati protokoll elérhető)

Megjegyzés	A konkrét konfigurációs méret az ügyfél bevonási termékeire vonatkozó igényei alapján tervezhető

Alkalmazás

Széles körben alkalmazzák motoros dugattyúkban, csúszó tömítéseknél, nemvas fémeket forgácsoló szerszámoknál, orvosi eszközökön, precíziós mobiltelefon-alkatrészeknél és premium díszítő alkatrészeknél, valamint sűrű réteget képez.