Μηχάνημα Επίστρωσης DLC με Πλάσμα Φυσικής Ανάπτυξης (PVD) Ομοιόμορφης Ανθεκτικότητας

PVD+PECVD DLC C επιπλέον
Τεχνολογία εναπόθεσης χαμηλής θερμοκρασίας
Πολυστόχαστρο πηγή μαγνητρονικής απόθεσης

Εισαγωγή

Χρησιμοποιεί τεχνολογία ανισορροπημένης κλειστής μαγνητρονικής απόθεσης / φιλτραρισμένου καθοδικού τόξου FCVA, η οποία επιτρέπει την απόθεση λεπτού υμενίου επίστρωσης DLC με περιεχόμενο υδρογόνου ή χωρίς υδρογόνο σε χαμηλή θερμοκρασία, με χαμηλή τριβή, υψηλή αντοχή στη φθορά και αυτολιπαντικά χαρακτηριστικά

Βασική τεχνολογία

■ Ανεξάρτητη διαδικασία DLC, χαμηλή τάση στο πλέγμα, χωρίς ρωγμές ή αποκόλληση

■ Αφαιρούμενο τρισδιάστατο ράφι, εύκολη σύσφιξη, κατάλληλο για διάφορα εξαρτήματα

■ Πλήρως αυτόματο σύστημα λειτουργίας, κλήση παραμέτρων διαδικασίας με ένα πάτημα

■ Συμβατό με διάφορα συστήματα φιλμ DLC για να καλύψει διαφορετικές συνθήκες λειτουργίας

Βασικά Προβάδια

■ Συντελεστής τριβής ≤0,15, εξαιρετική αυτολίπανση, χωρίς ανάγκη πρόσθετης λίπανσης

■ Σκληρότητα επίστρωσης ta-C χωρίς υδρογόνο έως 63 GPa, εξαιρετική αντοχή στη φθορά

■ Καταβύθιση σε χαμηλή θερμοκρασία (100–200 °C), κατάλληλη για θερμοευαίσθητα υποστρώματα

■ Πυκνή επίστρωση, ανθεκτική σε οξέα και βάσεις, ανθεκτική στη διάβρωση και στην αλατόψαρα

Βασική διαμόρφωση

Μοντέλο	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Διαστάσεις Καμβάριου	Δ1000 mm × Υ1200 mm	Δ1400 mm × Υ1600 mm
Power Load	140kw	170 kW
Περιοχή Προσγείωσης	Μ5400 mm × Π5200 mm × Υ2900 mm	Μ6155 mm × Π5050 mm × Υ3210 mm
Χρώματα επιστρώματος	Μαύρο, Σκούρο Γκρι, Ματ Μαύρο, Ουράνιο Τόξο
Επιστρώματα UV	DLC περιέχον υδρογόνο, ta-C χωρίς υδρογόνο, W-DLC, GLC, WC/C· σκληρότητα 1500 HV έως 63 GPa, συντελεστής τριβής ≤0,15
Σύστημα κενού	Αντλία διάχυσης/Αντλία τουρμπομοριακή + Ενισχυτική αντλία + Αντλία περιστροφικών πτερυγίων + Αντλία συγκράτησης (κρυογενική αντλία και πολυψυκτική αντλία είναι προαιρετικές)
Απόλυτος Κενός	5 × 10 ^-4Pa (Καθαρή και άδεια θάλαμος)
Σύστημα Περιστροφής	Πλανητική περιστροφή και μεταφορική κίνηση 6/8/10/12/16 άξονες

Σύστημα Επικάλυψης	CKB ^®Επίπεδη Κάθοδος Απόθεσης με Σκέδαση / CKB ^®Κυλινδρική Ράβδος Κάθοδου Απόθεσης με Σκέδαση / IET ^®Ξύσμα / Διανεμημένη Διαδρομή Αερίου MFC / Απόθεση με Σκέδαση HIPIMS


Χορήγηση ενέργειας	Δυναμική διασπορά με εναλλασσόμενο ρεύμα σε παλμούς / Δυναμική διασπορά με διπολικό ρεύμα / Ισχύς RF Απόθεσης με Σκέδαση / Ισχύς Εναλλασσόμενης Πόλωσης / Ισχύς HIPIMS / IET ^®δύναμη
Λειτουργικό Σύστημα	Πλήρως αυτόματο (IPC/PLC) + Απομακρυσμένη λειτουργία + Σύστημα συναγερμού (Διαθέσιμο πρωτόκολλο σύνδεσης OPC-UA)

Παρατήρηση	Το συγκεκριμένο μέγεθος της διαμόρφωσης μπορεί να σχεδιαστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη για το επικαλυπτόμενο προϊόν

Εφαρμογή

Χρησιμοποιείται ευρέως σε εμβολα κινητήρων, ολισθαίνοντα σφραγίσματα, εργαλεία κοπής μη σιδηρούχων μετάλλων, ιατρικές συσκευές, ακριβείς εξαρτήσεις κινητών τηλεφώνων και εξαρτήματα υψηλής ποιότητας για διακόσμηση, και μπορεί να σχηματίζει πυκνό φιλμ.