Mesin Pelapisan PVD Karbon Seperti Berlian DLC

PVD+PECVD DLC C melapuk
Teknologi Penempatan Suhu Rendah
Sumber Penyemburan Magnetron Berbilang Sasaran

Pengenalan

Menggunakan teknologi sputtering magnetron tertutup tidak seimbang/FCVA dan busur katod terfilter, mendepositkan lapisan pelindung DLC mengandungi hidrogen/tanpa hidrogen pada suhu rendah, dengan geseran rendah, rintangan haus tinggi dan ciri pelinciran sendiri

Teknologi teras

■ Proses DLC bebas, tekanan filem kecil, tiada retak atau terkelupas

■ Rak boleh tanggal 3D, pemegangan mudah, sesuai untuk pelbagai benda kerja

■ Sistem operasi sepenuhnya automatik, satu-tombol untuk memanggil parameter proses

■ Sesuai dengan pelbagai sistem filem DLC untuk memenuhi keadaan kerja yang berbeza

Kelebihan Utama

■ Pekali geseran ≤0.15, kelicinan sendiri yang sangat baik, tiada pelinciran tambahan diperlukan

■ Kekerasan salutan ta-C tanpa hidrogen sehingga 63 GPa, rintangan haus yang sangat baik

■ Penempatan suhu rendah (100–200 ℃), sesuai untuk substrat yang peka terhadap haba

■ Filem padat, tahan asid dan alkali, rintangan kakisan, tahan semburan garam

Konfigurasi asas

Model	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Saiz Kamar	D1000mm*T1200mm	D1400mm*T1600mm
Pemuatan Kuasa	140kw	170KW
Kawasan Pendaratan	P5400mmL5200mmT2900mm	P6155mmL5050mmT3210mm
Warna Lapisan	Hitam, Kelabu Gelap, Hitam Dof, Pelangi
Filem Lapisan	DLC mengandungi hidrogen, ta-C tanpa hidrogen, W-DLC, GLC, WC/C; Kekerasan 1500HV hingga 63GPa, pekali geseran ≤0.15
Sistem vakum	Pam Resapan/Pam Molekul Turbo + Pam Bantu + Pam Bilah Putar + Pam Penahan (pam kriogenik dan polycold adalah pilihan)
Vakum Akhir	5* 10 ^-4Pa (Ruang bersih dan kosong)
Sistem putaran	Putaran dan peredaran planet 6/8/10/12/16 paksi

Sistem Salutan	CKB ^®Katod Sputtering Planar / CKB ^®Katod Sputtering Rod Silinder / IET ^®Sputtering Etiket / Laluan Gas MFC Teragih / Sputtering HIPIMS


Bekalan Kuasa	Kuasa Sputtering DC Denyut / Kuasa Sputtering Bipolar / Kuasa Sputtering RF / Kuasa Bias Denyut / Kuasa HIPIMS / IET ^®kuasa
Sistem Operasi	Sepenuhnya Automatik (IPC/PLC) + Operasi Jarak Jauh + Sistem Amaran (Protokol Pautan OPC-UA tersedia)

Catatan	Saiz konfigurasi khusus boleh direka mengikut keperluan pelanggan terhadap produk bersalut

Permohonan

Digunakan secara meluas pada piston enjin, segel gelangsar, alat pemotong logam bukan ferus, peranti perubatan, komponen telefon bimbit tepat, dan bahagian hiasan bertaraf tinggi, serta mampu membentuk lapisan padat.