DLC Diamant-Kimi Karbon PVD Örtük Maşını

PVD+PECVD DLC C uçan
Aşağı Temperaturda Çöküntü Texnologiyası
Çoxhədəfli Maqnetron Çöküntü Mənbəyi

Giriş

Qeyri-bərabər qapalı maqnetron püskürmə/FCVA süzülmüş katod arklu texnologiyasından istifadə edir, aşağı temperaturda hidrogenli/hidrogensiz DLC örtük təbəqəsi çökdürür; aşağı sürtünməyə, yüksək aşınmaya davamlılığa və öz-yağlayıcı xüsusiyyətlərə malikdir

اساس تکنولوژی

■ Müstəqil DLC prosesi, kiçik təbəqə gərginliyi, çatlamır və soyulmur

■ 3Ö çıxarılabilən rəf, asan bərkitmə, müxtəlif detallara uyğundur

■ Tam avtomatlaşdırılmış idarəetmə sistemi, proses parametrlərinin bir düymə ilə çağırılması

■ Müxtəlif DLC təbəqə sistemləri ilə uyğunluq, müxtəlif iş şəraitinə cavab verir

Əsas üstünlüklər

■ Sürtünmə əmsalı ≤0,15, üstün öz-lubrikasiya xüsusiyyəti, əlavə yağlama tələb olunmur

■ Hidrogensiz ta-C üzərindəki örtük sərtliyi 63 GPa-a qədər, üstün aşınmaya davamlılıq

■ Alçaq temperaturda (100–200 °C) çöküntü, istiyə həssas altlıqlar üçün uyğundur

■ Sıx təbəqə, turşu və qələvəyə, korroziyaya və duz buxarına davamlıdır

Əsas konfiqurasiya

Model	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Komora ölçüsü	D1000 mm * H1200 mm	D1400 mm * H1600 mm
Güc yükü	140kw	170 kVt
Qoşulma sahəsi	U5400 mm * E5200 mm * H2900 mm	U6155 mm * E5050 mm * H3210 mm
Rənglər	Qara, Qaranlıq Boz, Matt Qara, İris
Örtük filmi	Hidrogenli DLC, hidrogensiz ta-C, W-DLC, GLC, WC/C; Sərtlik 1500HV~63GPa, sürtünmə əmsalı ≤0,15
Vakuum sistemi	Difuziya nasosu / Turbo molekulyar nasos + Gücləndirici nasos + Döner vallı nasos + Saxlayan nasos (kriogen nasos və polikold isteğe bağlıdır)
Ən Yaxşı Vakum	5* 10 ^-4Pa (Təmiz və boş kamera)
Fırlanma Sistemi	Planet dönməsi və fırlanması 6/8/10/12/16 oxlu

Örtük Sistemi	CKB ^®Planar Sputterinq Katodu / CKB ^®Silindr Çubuğu Sputterinq Katodu / IET ^®Eroziya / Paylanmış MFC Qaz Yolu / HIPIMS Sputterinq


Güc təchizatı	Pulsasiyalı DC Sputterinq Gücü / Bipolyar Sputterinq Gücü / RF Sputterinq Gücü / Pulsasiyalı Bias Gücü / HIPIMS Gücü / IET ^®güc
Əməliyyat Sistemi	Tam avtomatik (İPU/PLC) + Uzaqdan idarəetmə + Xəbərdarlıq sistemi (OPC-UA bağlantı protokolu mövcuddur)

Qeyd	Xüsusi konfiqurasiya ölçüsü müştərinin örtük məhsullarına dair tələblərinə uyğun olaraq hazırlanabilir

Tətbiq

Mühərrik pistonlarında, sürüşməli sıxlama qurğularında, rəngsiz metalların kəsilməsi üçün alətlərdə, tibbi cihazlarda, dəqiq mobil telefon komponentlərində və yüksək səviyyəli dekorativ hissələrdə geniş istifadə olunur və sıx təbəqə əmələ gətirə bilər.