DLC Elmas-Benzeri Karbon PVD Kaplama Makinesi

PVD+PECVD DLC C oating
Düşük Sıcaklıkta Çöktürme Teknolojisi
Çoklu Hedefli Manyetron Püskürtme Kaynağı

Giriş

Dengesiz kapalı manyetron sputterleme/FCVA süzülmüş katot ark teknolojisi kullanır; düşük sürtünme, yüksek aşınma direnci ve kendinden yağlama özelliklerine sahip, hidrojen içeren/hidrojensiz DLC kaplama filmi düşük sıcaklıkta biriktirir

Temel Teknoloji

■ Bağımsız DLC işlemi, düşük film gerilimi, çatlama veya soyulma yok

■ Üç boyutlu çıkarılabilir raf, kolay sıkma, çeşitli iş parçalarına uygundur

■ Tam otomatik işletme sistemi, işlem parametrelerinin tek tuşla çağrılması

■ Farklı çalışma koşullarını karşılamak için çeşitli DLC film sistemleriyle uyumludur

Temel Avantajlar

■ Sürtünme katsayısı ≤0,15, üstün kendiliğinden yağlama özelliği, ek yağlamaya gerek yoktur

■ Hidrojensiz ta-C kaplama sertliği 63 GPa’ya kadar ulaşabilir, üstün aşınmaya dayanıklılık sağlar

■ Düşük sıcaklıkta (100–200 °C) biriktirme, ısıya duyarlı alt tabakalara uygundur

■ Yoğun film, asit ve alkali direnci yüksek, korozyona ve tuz sisine dayanıklıdır

Temel yapılandırma

Model	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Odalık Boyut	Ç1000 mm * Y1200 mm	Ç1400 mm * Y1600 mm
Güç Yüklemesi	140kw	170kW
İniş Alanı	U5400 mm * G5200 mm * Y2900 mm	U6155 mm * G5050 mm * Y3210 mm
Kaplama Renkleri	Siyah, Koyu Gri, Mat Siyah, Gökkuşağı
Kaplama Filmleri	Hidrojen içeren DLC, hidrojensiz ta-C, W-DLC, GLC, WC/C; Sertlik 1500 HV~63 GPa, sürtünme katsayısı ≤0,15
Vakum sistemi	Difüzyon pompası / Turbo moleküler pompası + Takviye pompası + Döner paletli pompası + Tutma pompası (kriyojenik pompa ve polikold isteğe bağlıdır)
Maksimum Vakum	5* 10 ^-4Pa (Temiz ve boş kabin)
Rotasyon sistemi	Gezegenin dönme ve dolanma hareketi 6/8/10/12/16 eksenli

Kaplama Sistemi	CKB ^®Düzlemsel Sputterlama Katodu / CKB ^®Silindir Mili Sputterlama Katodu / IET ^®Ezme / Dağıtılmış MFC Gaz Yolu / HIPIMS Sputterlama


Güç Kaynağı	Darbeli DC Manyetron Gücü / İkikutuplu Manyetron Gücü / RF Sputterlama Gücü / Darbeli Bias Gücü / HIPIMS Gücü / IET ^®güç
İşletim Sistemi	Tam otomatik (IPC/PLC) + Uzaktan İşletim + Alarm Sistemi (OPC-UA Bağlantı Protokolü mevcuttur)

Açıklama	Belirli yapılandırma boyutu, müşteriye ait kaplama ürün gereksinimlerine göre tasarlanabilir

Uygulama

Motor pistonlarında, kaymalı salmastra sistemlerinde, demir dışı metal kesme takımlarında, tıbbi cihazlarda, yüksek hassasiyetli cep telefonu bileşenlerinde ve üst düzey dekoratif parçalarda yaygın olarak kullanılır; yoğun bir film oluşturabilir.