DLC хөнгөн цагааны нүүрсөд-төст PVD бүрхүүл тавих машин

PVD+PECVD DLC C усанд хөвөх
Дундаж температурт тунадасжуулалтын технологи
Олон зорилгоны магнетрон цацрагжуулалтын үүсгүүр

Доторх оролт

Тэнцвэрт бус хаалттай магнетрон сүүдэрлүүлэлт/FCVA шүүлтүүрт катодын нумын технологийг ашиглаж, бага температурт ус-агуулж/ус-агуулжгүй DLC хучилт тавьж, бүүрхүүлд бага үрэлдүүр, өндөр дүүрдүүр төдийгүй өөрөө тослогч шинж чанарыг хангаж

Үндсэн технологи

■ Тусгаарлагдсан DLC процесс, бага зэргийн үлдэц хүч, трахейн үүсэл буюу хөндлөн трещин үүсэлгүй

■ 3D-ийн салгагдмашин тавиур, хялбар хатгах, олон төрлийн деталд тохиромжтой

■ Бүтнэд автомат ажиллагааны систем, процессын параметрүүдийг нэг товч дарж дуудаж болох

■ Олон төрлийн DLC үлдэц системтүүдтэй совместим, өөр өөр ажиллах нөхцлүүдтүүдтэй таармуй

Үндсэн хамгаалалтын асуудлууд

■ Үрэлдүүр коэффициент ≤0.15, гайхамшгийн үлдэц үрэлдүүр чанар, нэмэлт үлдэц шингэн шаардагүй

■ Устородгүй ta-C үлдэц хатуушин 63 ГПа хүртэл, гайхамшгийн дүүрүүр төвөгтүүр төвөгтүүр

■ Бага температурт (100~200℃) тунадас, дулаан-маягт суубстратуудтүүдтэй тохиромжтой

■ Нягт үлдэц, хүчил ба шүлт төвөгтүүр, коррозион төвөгтүүр, давсны цацраг төвөгтүүр

Үндсэн загвар

Загвар	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Хавтаасын хэмжээ	Диаметр 1000 мм * Өндөр 1200 мм	Диаметр 1400 мм * Өндөр 1600 мм
Power Load	140kw	170KW
Бүүрхүүл бүүрхүүл	Урт 5400 мм × Өргөн 5200 мм × Өндөр 2900 мм	Урт 6155 мм × Өргөн 5050 мм × Өндөр 3210 мм
Давхарга өнгөнүүд	Хар, Түмнөх хар, Матт хар, Радуга
Давхарга нь цацрагт хамгаалалт	Устөрөгч агуулдаг DLC, устөрөгчгүй ta-C, W-DLC, GLC, WC/C; Хатууш 1500HV~63 ГПа, үрэлдүүлэх коэффициент ≤0.15
Вакуум систем	Диффузион насос/Турбо молекулар насос + Түлхүүр насос + Эргэлдүүн хавтаст насос + Барьж держащ насос (криоген насос ба поликолд сонгомжтой)
Эцсийн вакуум	5*10 ^-4Па (Цэвэр ба хоосон камер)
Эргэх систем	Планетар эргэлдүүн ба бүртгэлдүүн хөдөлгөөн 6/8/10/12/16 тэнхлэг

Бүрхүүл систем	CKB ^®Хавтгай цацрагт катод / CKB ^®Цилиндр шатуун цацрагт катод / IET ^®Цацрагт хүчдэл үүсгэх / Тархмал MFC хийн зам / HIPIMS цацрагт хүчдэл үүсгэх


Цахилгаан хангамж	Импульс тогтмол гүйдлийн цацрагт хүч / Хоёр туйлт цацрагт хүч / Радио давтамжийн цацрагт хүчдэл үүсгэх / Импульс бүрдүүлэлтийн хүчдэл үүсгэх / HIPIMS хүчдэл үүсгэх / IET ^®хүч
Үйлдлийн систем	Бүрэн автомат (ИПК/ПЛК) + Алс зайн удирдлага + Аварийн систем (OPC-UA холболтын протокол боломжтой)

Тэмдэглэл	Тодорхой конфигурацийн хэмжээг захиалагчийн будагт бүтээдсийн шаардлагад нийцүүр хийн төсөөлж болно

Хэрэглээ

Двигательн поршнууд, гулзайдах салгагчид, үл төмөрлөг металлын хүрдлүүрүүд, ангиопеди төхөөрөмжүүд, нарийн хялбар гар утасны деталд, дээд зэрэглэлийн төрхлүүр деталд өргөн ашигладаг, нягт тавцан үүсгэж чадна.