Stroj pro povlakování DLC (podobné diamantu) metodou PVD

PVD+PECVD DLC C plavící se
Technologie nánosu při nízké teplotě
Magnetronový rozprašovací zdroj s více cíli

Úvod

Využívá technologii nesymetrického uzavřeného magnetronového naprašování/FCVA s filtrem katodového oblouku, která umožňuje nanášení DLC povlaku obsahujícího vodík či bezvodíkového DLC povlaku za nízkých teplot, s nízkým koeficientem tření, vysokou odolností proti opotřebení a samo-maznými vlastnostmi

Klíčová technologie

■ Nezávislý proces DLC, nízké napětí vrstvy, žádné praskání ani odlepující se vrstvy

■ 3D odnímatelný držák, snadné upínání, vhodné pro různé obrobky

■ Plně automatický provozní systém, volání parametrů procesu jedním stiskem tlačítka

■ Kompatibilní s různými systémy DLC vrstev pro splnění různých provozních podmínek

Jádrová výhody

■ Koeficient tření ≤0,15, vynikající samomazání, není vyžadováno žádné dodatečné mazání

■ Tvrdost bezvodíkového ta-C povlaku až 63 GPa, vynikající odolnost proti opotřebení

■ Depozice při nízké teplotě (100–200 °C), vhodné pro tepelně citlivé podložky

■ Hustá vrstva, odolná vůči kyselinám a zásadám, korozní odolnost, odolnost proti solné mlze

Základní konfigurace

Model	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Chamber size	Ø1000 mm × V1200 mm	Ø1400 mm × V1600 mm
Power Load	140kw	170kW
Plocha pro přistání	D5400 mm × Š5200 mm × V2900 mm	D6155 mm × Š5050 mm × V3210 mm
Barvy povlaku	Černá, tmavě šedá, matně černá, duhová
Povlakové fólie	DLC obsahující vodík, ta-C bez vodíku, W-DLC, GLC, WC/C; tvrdost 1500 HV až 63 GPa, koeficient tření ≤ 0,15
Vakuový systém	Difúzní vývěva / turbomolekulární vývěva + zvyšovací vývěva + rotační lopatková vývěva + udržovací vývěva (kryogenní vývěva a polycold jsou volitelné)
Konečný vakuum	5 × 10 ^-4Pa (čistá a prázdná komora)
Rotační systém	Planetární rotace a revoluce 6 / 8 / 10 / 12 / 16 os

Nátěrový systém	CKB ^®Rovinná naprašovací katoda / CKB ^®Válcová tyčová naprašovací katoda / IET ^®Rytmické leptání / Distribuovaná plynová dráha MFC / HIPIMS naprašování


Napájení	Pulzní stejnosměrné naprašování / Bipolární naprašování RF naprašovací výkon / Pulsující záporný výkon / HIPIMS výkon / IET ^®výkon
Operační systém	Plně automatický systém (IPC/PLC) + dálkový provoz + poplachový systém (K dispozici protokol propojení OPC-UA)

Poznámka	Konkrétní rozměry konfigurace lze navrhnout podle požadavků zákazníka na povlakové výrobky

Aplikace

Široce používané u pístů spalovacích motorů, kluzných těsnění, nástrojů pro obrábění neželezných kovů, lékařských zařízení, přesných součástí mobilních telefonů a vysoce kvalitních dekorativních dílů; umožňují vytvoření husté vrstvy.