ใช้เทคโนโลยีแมกเนตรอนสปัตเทอริงแบบไม่สมดุลแบบปิด/อาร์คคาโทดแบบกรอง FCVA ซึ่งสามารถเคลือบฟิล์ม DLC ที่มีหรือไม่มีไฮโดรเจนได้ที่อุณหภูมิต่ำ โดยมีคุณสมบัติความเสียดทานต่ำ ทนต่อการสึกหรอสูง และมีความสามารถในการหล่อลื่นตัวเอง
■ กระบวนการ DLC แบบอิสระ ความเครียดของฟิล์มต่ำ ไม่มีรอยแตกร้าวหรือลอกหลุด
■ ชั้นวางแบบถอดออกได้ 3 มิติ จับยึดง่าย เหมาะสำหรับชิ้นงานหลากหลายประเภท
■ ระบบปฏิบัติการแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ เรียกพารามิเตอร์กระบวนการด้วยปุ่มเดียว
■ เข้ากันได้กับระบบฟิล์ม DLC หลายแบบ เพื่อตอบสนองเงื่อนไขการทำงานที่แตกต่างกัน
■ สัมประสิทธิ์แรงเสียดทาน ≤ 0.15 มีคุณสมบัติหล่อลื่นตัวเองได้ดีเยี่ยม ไม่จำเป็นต้องใช้น้ำมันหล่อลื่นเพิ่มเติม
■ ฟิล์มเคลือบ ta-C ที่ไม่มีไฮโดรเจน มีความแข็งสูงสุดถึง 63 GPa ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม
■ การสะสมฟิล์มที่อุณหภูมิต่ำ (100–200 °C) เหมาะสำหรับวัสดุพื้นฐานที่ไวต่อความร้อน
■ ฟิล์มแน่น ทนต่อกรดและด่าง ทนการกัดกร่อน และทนต่อหมอกเกลือ
| รุ่น | CCZK-1012-DLC | CCZK-1416-DLC | |||
| ขนาดห้อง | เส้นผ่านศูนย์กลาง 1000 มม. × สูง 1200 มม. | เส้นผ่านศูนย์กลาง 1400 มม. × สูง 1600 มม. | |||
| Power Load | 140กิโลวัตต์ | 170kW | |||
| พื้นที่ลงจอด | ยาว 5400 มม. × กว้าง 5200 มม. × สูง 2900 มม. | ยาว 6155 มม. × กว้าง 5050 มม. × สูง 3210 มม. | |||
| สีเคลือบผิว | สีดำ สีเทาเข้ม สีดำด้าน สีรุ้ง | ||||
| ฟิล์มเคลือบผิว | DLC ที่มีไฮโดรเจน DLC แบบ ta-C ที่ไม่มีไฮโดรเจน W-DLC GLC และ WC/C; ความแข็ง 1500HV ถึง 63GPa สัมประสิทธิ์แรงเสียดทาน ≤0.15 | ||||
| ระบบสูบ | ปั๊มดูดแบบแพร่กระจาย / ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ + ปั๊มเสริมแรงดัน + ปั๊มใบพัดหมุน + ปั๊มคงสภาพ (ปั๊มไครโอเจนิกและปั๊มโพลีโคลดเป็นตัวเลือกเพิ่มเติม) | ||||
| ความว่างเปล่าสูงสุด | 5 × 10 -4Pa (ห้องสะอาดและว่างเปล่า) | ||||
| ระบบหมุน | การหมุนรอบตัวเองและการโคจรแบบดาวเคราะห์ 6 / 8 / 10 / 12 / 16 แกน |
||||
| ระบบเคลือบ | CKB ®คาโทดสปัตเตอริงแบบระนาบ / CKB ®คาโทดสปัตเตอริงแบบทรงกระบอกพร้อมก้าน / IET ®การกัดกร่อน / เส้นทางการไหลของก๊าซ MFC แบบกระจาย / สปัตเตอริง HIPIMS |
||||
| การให้พลังงาน | แหล่งจ่ายพลังงานแบบสปัตเตอริงกระแสตรงแบบเป็นจังหวะ / แหล่งจ่ายพลังงานแบบสปัตเตอริงสองขั้ว แหล่งจ่ายกำลังสปัตเตอริง RF / แหล่งจ่ายกำลังไบแอสแบบพัลส์ / แหล่งจ่ายกำลัง HIPIMS / IET ®พลังงาน |
||||
| ระบบปฏิบัติการ | ระบบควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ (ผ่าน IPC/PLC) + การควบคุมจากระยะไกล + ระบบแจ้งเตือน (รองรับโปรโตคอลการเชื่อมต่อ OPC-UA) |
||||
| หมายเหตุ | ขนาดการจัดวางระบบที่เฉพาะเจาะจงสามารถออกแบบได้ตามความต้องการของลูกค้าเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์ที่ต้องการเคลือบ | ||||
ใช้กันอย่างแพร่หลายในลูกสูบเครื่องยนต์ ซีลแบบเลื่อน ดอกสว่านตัดโลหะที่ไม่ใช่เหล็ก อุปกรณ์ทางการแพทย์ ชิ้นส่วนโทรศัพท์มือถือแบบความแม่นยำสูง และชิ้นส่วนตกแต่งระดับพรีเมียม รวมทั้งสามารถสร้างฟิล์มที่แน่นหนาได้





