DLC mašina za premaz PVD ugljenika poput dijamanata

PVD+PECVD DLC C oating
Tehnologija odlaganja niskog temperatura
Multi-target magnetron izvor za prskanje

Uvod

Uzima neuravnotežen zatvoreni magnetron sputtering/FCVA filtriranu tehnologiju katodnog luka, nastavlja hidrogen-sadržajnu/bezvodonik DLC premaznu folimu na niskom temperaturi, sa niskim trenjem, visokom otpornošću na habanje i samoprepašćujućim karakteristik

Osnovna tehnologija

■ Nezavisni DLC proces, mali filmski stres, bez puktanja ili lučenja

■ 3D skidač, lako začepljivanje, pogodan za različite dijelove

■ Potpuno automatski operativni sistem, poziv parametara procesa jednim ključem

■ Kompatibilna sa različitim DLC sistemima za filmove kako bi se zadovoljili različiti radni uslovi

Jedinstvene prednosti

■ koeficijent trenja ≤0,15, odlična samopovlažavanje, bez potrebe za dodatnim podmazivanjem

■ tvrdoća premaza bez vodonika do 63 GPa, odlična otpornost na habanje

■ niskotemperaturno naslagavanje (100~200°C), pogodno za toplotno osetljive supstrate

■ Gosti film, otporan na kiselinu i alkali, otporan na koroziju, otporan na sol

Osnovna konfiguracija

Model	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Veličina prostora	D1000mm*H1200mm	D1400mm*H1600mm
Snaga	140 kW	170 kW
Područje za slijetanje	L5400mmW5200mmH2900mm	L6155mmW5050mmH3210mm
Boje premaza	Crno, tamno sivo, matno crno, dugovač
S druge strane,	DLC koji sadrži vodonik, bez vodonika ta-C, W-DLC, GLC, WC/C; tvrdoća 1500HV~63GPa, koeficijent trenja ≤0,15
Vakuumski sistem	Difuzna pumpa/Turbo molekularna pumpa +Booster pumpa + Rotary vane pumpa+Holding pumpa ((kriogena pumpa i policold su opcionalni)
Krajnji vakuum	5* 10 ^-4Pa (čista i prazna komora)
Sistem rotacije	Planetarna rotacija i revolucija os 6/8/10/12/16

Sistem premaza	CKB ^®Katod za ravan sputiranje / CKB ^®Katod za prskanje cevima IET ^®Kraviranje / Raspoređeni MFC gasni put / HIPIMS sputtering


Napajanje	Pulsna DC snaga / Bipolarna snaga Snaga RF sputteriranja / Snaga pulsiranog pristranosti / Snaga HIPIMS / IET ^®snaga
Operativni sistem	Potpuno automatski (IPC/PLC) +Distantno upravljanje + Sistem alarma (OPC-UA Link protokol dostupan)

Napomena	Specifična veličina konfiguracije može se dizajnirati u skladu sa zahtjevima kupaca za proizvodom premaza

Primjena

Široko se koristi u motornim zamašcima, klizačkim pečatima, alatkama za sečenje neželjenih metala, medicinskim uređajima, preciznim komponentama mobilnih telefona i visoko kvalitetnim dekorativnim dijelovima, a može formirati gust film.