Машина за нанасяне на DLC покритие с диамантоподобен въглерод чрез PVD метод

PVD+PECVD DLC C плаващ
Технология за утаяване при ниски температури
Източник за магнетронно разпрашване с множество мишени

Въведение

Използва технология за неравновесно затворено магнетронно напръскване/филтрирана катодна дъга FCVA, която нанася филм от DLC покритие със или без водород при ниска температура, характеризиращ се с ниско триене, висока износостойкост и самосмазващи свойства

Основни технологии

■ Независим процес за нанасяне на DLC, малко напрежение във филма, без пукнатини или отлепяне

■ 3D сменяема стойка, лесно зажимане, подходяща за различни заготовки

■ Пълна автоматизация на операционната система, извикване на параметрите на процеса с едно натискане на бутон

■ Съвместимост с различни системи за нанасяне на DLC филми, за удовлетворяване на различни работни условия

Основни предимства

■ Коефициент на триене ≤0,15, отлично самосмазване, не се изисква допълнително смазване

■ Твърдост на водород-свободно ta-C покритие до 63 GPa, отлична износостойкост

■ Нанасяне при ниска температура (100–200 °C), подходящо за топлочувствителни субстрати

■ Плътен филм, устойчив на киселини и алкални среди, корозионностоек, устойчив на солен разпръскван

Основна конфигурация

Модел	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Размер на камерата	D1000 мм * В1200 мм	D1400 мм * В1600 мм
Power Load	140кВ	170kW
Площ за кацане	Д5400 мм * Ш5200 мм * В2900 мм	Д6155 мм * Ш5050 мм * В3210 мм
Цветове на покритието	Черно, тъмносиво, матово черно, дъгово
Филми за покритие	DLC със съдържание на водород, ta-C без водород, W-DLC, GLC, WC/C; Твърдост 1500 HV ~ 63 GPa, коефициент на триене ≤ 0,15
Вакуумна система	Дифузионна помпа / Турбомолекулярна помпа + Усилваща помпа + Ротационна пластинчата помпа + Задържаща помпа (криогенна помпа и поликолд са опционални)
Крайна вакуумна	5 × 10 ^-4Pa (Чиста и празна камера)
Ротационна система	Планетарно въртене и революция 6 / 8 / 10 / 12 / 16 оси

Система за покритие	CKB ^®Планарен катод за напръскване / CKB ^®Цилиндричен прът за напръскване / IET ^®Травене / Разпределена газова линия с масов контролен поток (MFC) / Направено по метода HIPIMS напръскване


Енергиен източник	Напрежение за импулсно постояннотоково напластяване / Напрежение за двуполюсно напластяване RF напръскваща мощност / Импулсна поляризираща мощност / Мощност HIPIMS / IET ^®мощност
Операционна система	Пълна автоматизация (IPC/PLC) + Дистанционно управление + Система за аларми (Достъпен е протоколът за връзка OPC-UA)

Забележка	Конкретните размери на конфигурацията могат да се проектират според изискванията на клиента относно нанасяните покрития

Приложение

Широко използван в двигателни бутала, плъзгащи се уплътнения, режещи инструменти за цветни метали, медицински устройства, прецизни компоненти за мобилни телефони и висококачествени декоративни части, като позволява формирането на плътна филмова структура.