Machine de revêtement PVD DLC (revêtement à base de carbone de type diamant)

DLC PVD+PECVD C flottante
Technologie de dépôt à basse température
Source de pulvérisation magnétron à plusieurs cibles

Introduction

Adopte une technologie de pulvérisation magnétron fermée déséquilibrée / arc cathodique filtré FCVA, déposant à basse température un film de revêtement DLC contenant de l'hydrogène ou sans hydrogène, caractérisé par un faible coefficient de frottement, une haute résistance à l'usure et des propriétés d'autolubrification

Technologie de base

■ Procédure DLC indépendante, faible contrainte du film, sans fissuration ni délamination

■ Support 3D amovible, serrage facile, adapté à diverses pièces

■ Système de fonctionnement entièrement automatique, appel des paramètres de procédure en un seul clic

■ Compatible avec divers systèmes de dépôt de films DLC pour répondre à différentes conditions de travail

Avantages principaux

■ Coefficient de friction ≤ 0,15, excellente auto-lubrification, aucune lubrification supplémentaire requise

■ Revêtement ta-C sans hydrogène dont la dureté atteint 63 GPa, excellente résistance à l’usure

■ Dépôt à basse température (100–200 °C), adapté aux substrats sensibles à la chaleur

■ Film dense, résistant aux acides et aux alcalis, anticorrosif, résistant au brouillard salin

Configuration de base

Modèle	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Taille de la chambre	D1000 mm × H1200 mm	D1400 mm × H1600 mm
Charge Puissance	140kw	170kW
Zone d’atterrissage	L5400 mm × l5200 mm × H2900 mm	L6155 mm × l5050 mm × H3210 mm
Couleurs de revêtement	Noir, Gris foncé, Noir mat, Arc-en-ciel
Films de revêtement	DLC contenant de l'hydrogène, ta-C sans hydrogène, DLC à base de tungstène, DLC graphitique (GLC), WC/C ; dureté de 1500 HV à 63 GPa, coefficient de friction ≤ 0,15
Système de vide	Pompe à diffusion / pompe turbomoléculaire + pompe de surpression + pompe à palettes rotatives + pompe de maintien (pompe cryogénique et système Polycold en option)
Vide ultime	5 × 10 ^-4Pa (Chambre propre et vide)
Système de rotation	Rotation et révolution planétaires 6/8/10/12/16 axes

Système de revêtement	CKB ^®Cathode de pulvérisation planaire / CKB ^®Cathode de pulvérisation à tige cylindrique / IET ^®Gravure / Chemin gazeux MFC distribué / Pulvérisation HIPIMS


Alimentation électrique	Alimentation en courant continu pulsé pour pulvérisation / Alimentation en courant bipolaire pour pulvérisation Alimentation en courant de pulvérisation RF / Alimentation en courant de polarisation pulsée / Alimentation en courant HIPIMS / IET ^®puissance
Système d'exploitation	Entièrement automatique (IPC/PLC) + fonctionnement à distance + système d’alarme (Protocole de liaison OPC-UA disponible)

Remarque	La taille de la configuration spécifique peut être conçue en fonction des exigences du client concernant le produit à revêtir

Application

Utilisé couramment pour les pistons de moteur, les joints glissants, les outils de coupe pour métaux non ferreux, les dispositifs médicaux, les composants de haute précision pour téléphones mobiles et les pièces décoratives haut de gamme, et permet de former un film dense.