Maszyna do powlekania metodą PVD warstwą węgla diamentopodobnego (DLC)

PVD+PECVD DLC C otwieranie
Technologia osadzania w niskiej temperaturze
Źródło wielocelowe napędzane magnetycznie

Wprowadzenie

Zastosowano technologię asymetrycznego zamkniętego napylania magnetronowego / odfiltrowanej łuku katodowego FCVA, umożliwiającą osadzanie warstwy powłoki DLC zawierającej wodor lub pozbawionej wodoru w niskiej temperaturze, charakteryzującej się niskim współczynnikiem tarcia, wysoką odpornością na zużycie oraz własnościami samosmarującymi

Technologia podstawowa

■ Niezależny proces DLC, niskie naprężenia warstwy, brak pęknięć ani odpryskiwania

■ 3D wymienny uchwyt, łatwe zaciskanie, odpowiedni do różnych przedmiotów obrabianych

■ W pełni automatyczny system sterowania, wywoływanie parametrów procesu jednym przyciskiem

■ Kompatybilny z różnymi systemami warstw DLC, spełniający różne warunki pracy

Podstawowe Zalety

■ Współczynnik tarcia ≤0,15, doskonała samosmarność, nie wymaga dodatkowego smarowania

■ Twardość powłoki ta-C bez wodoru do 63 GPa, doskonała odporność na zużycie

■ Osadzanie w niskiej temperaturze (100–200 °C), odpowiednie dla podłoży wrażliwych na ciepło

■ Gęsta warstwa, odporna na kwasy i zasady, odporna na korozję oraz na działanie mgły solnej

Podstawowa konfiguracja

Model	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Rozmiar komory	Średnica 1000 mm × wysokość 1200 mm	Średnica 1400 mm × wysokość 1600 mm
Power Load	140kw	170kW
Powierzchnia lądowania	Długość 5400 mm × szerokość 5200 mm × wysokość 2900 mm	Długość 6155 mm × szerokość 5050 mm × wysokość 3210 mm
Kolor powłoki	Czarny, ciemnoszary, matowy czarny, tęczowy
Powłoki pokryciowe	DLC zawierające wodór, ta-C bez wodoru, DLC z wolframem, GLC, WC/C; twardość 1500 HV–63 GPa, współczynnik tarcia ≤0,15
System próżniowy	Pompa dyfuzyjna / turbomolekularna + pompa wspomagająca + pompa wirowa + pompa utrzymująca (pompa kriogeniczna i system Polycold są opcjonalne)
Ostateczna Próżnia	5 × 10 ^-4Pa (czysta i pusta komora)
System obrotowy	Obroty planetarne i obiegowe 6 / 8 / 10 / 12 / 16 osi

System Powłokowy	CKB ^®Katoda napylania planarnego / CKB ^®Katoda napylania z drążkiem cylindrycznym / IET ^®Trawienie / Rozproszona ścieżka gazu z MFC / Napylanie HIPIMS


Zasilacz	Prąd stały impulsowy do napylania / prąd stały dwubiegunowy do napylania / Moc napylania RF / Moc impulsowego polaryzowania / Moc HIPIMS / IET ^®moc
System operacyjny	Pełna automatyzacja (IPC/PLC) + obsługa zdalna + system alarmowy (Dostępny protokół połączenia OPC-UA)

Uwagi	Konkretny rozmiar konfiguracji może być zaprojektowany zgodnie z wymaganiami klienta dotyczącymi powłoki na produkty

Zastosowanie

Szeroko stosowane w tłoczyskach silników, uszczelkach ślizgowych, narzędziach do obróbki metali nieżelaznych, urządzeniach medycznych, precyzyjnych elementach telefonów komórkowych oraz wysokiej klasy elementach dekoracyjnych; umożliwiają tworzenie gęstej warstwy powłoki.