DLC:n kaltaisen hiilin PVD-pinnoituslaitteisto

PVD+PECVD DLC C uinuminen
Matalan lämpötilan sadoisteknologia
Monitavoitteinen magneettihäivytyslähde

Johdanto

Käyttää epätasapainoista suljettua magneetrionhajoitusta/FCVA-suodatettua katodikaariteknologiaa, jolla saadaan aikaan vetyä sisältävä tai vetytön DLC-pinnoitekalvo alhaisessa lämpötilassa, jolla on alhainen kitka, korkea kulumisvastus ja itsevoiteluominaisuudet

Ydinteknologia

■ Riippumaton DLC-käsittelyprosessi, pieni kalvon jännitys, ei halkeamia tai irtoamista

■ 3D-irrotettava telakka, helppo kiinnitys, soveltuu erilaisiin työkappaleisiin

■ Täysin automatisoitu käyttöjärjestelmä, prosessiparametrien kutsu yhdellä näppäinyllä

■ Yhteensopiva erilaisten DLC-kalvojärjestelmien kanssa erilaisten työolosuhteiden täyttämiseksi

Ytimiset edut

■ Kitkakerroin ≤ 0,15, erinomainen itsevoitelukyky, lisävoitelua ei vaadita

■ Vedeton ta-C-pinnoitteen kovuus jopa 63 GPa, erinomainen kulumisvastus

■ Matalan lämpötilan (100–200 °C) pinnoitus, soveltuu lämpöherkille alustoille

■ Tiukka kalvo, happo- ja emäksiresistentti, korrosioresistentti, suolapirskeen kestävä

Perusmääritys

Malli	CCZK-1012-DLC	CCZK-1416-DLC
Kamman koko	Halkaisija 1000 mm * korkeus 1200 mm	Halkaisija 1400 mm * korkeus 1600 mm
Power Load	140kw	170kW
Landing-alue	Pituus 5400 mm * leveys 5200 mm * korkeus 2900 mm	Pituus 6155 mm * leveys 5050 mm * korkeus 3210 mm
Pintakäsittelyvärit	Musta, tummanharmaa, mattamusta, sateenkaarenväriset
Pintakäsittelykalvot	Vetyä sisältävä DLC, vetytön ta-C, W-DLC, GLC, WC/C; kovuus 1500 HV–63 GPa, kitkakerroin ≤ 0,15
Tyhjiöjärjestelmä	Diffuusiopumppu / turbo-molekulaaripumppu + lisäpumppu + pyöriväsiipipumppu + säilytyspumppu (cryopumppu ja polycold ovat vaihtoehtoisia)
Loppu-ilmanpainetta	5 * 10 ^-4Pa (puhdas ja tyhjä kammio)
Pyörimisjärjestelmä	Planeetta-akselin pyörähdys ja kiertoliike 6 / 8 / 10 / 12 / 16 akselia

Pintakäsittelyjärjestelmä	CKB ^®Tasomainen sputterikatodi / CKB ^®Sylinterivartinen sputterikatodi / IET ^®Kärsintä / Jakautunut MFC-kaasupolku / HIPIMS-sputtering


Virtalähde	Pulssitettu tasavirtahajoitusvoima / Bipolaarinen hajoitusvoima / RF-sputteriteho / Pulssimainen bias-teho / HIPIMS-teho / IET ^®teho
Käyttöjärjestelmä	Täysautomaattinen (IPC/PLC) + Etäkäyttö + Hälytysjärjestelmä (OPC-UA-linkkiprotokolla saatavilla)

Huomautus	Tarkka konfiguraatiokoko voidaan suunnitella asiakkaan pinnoitettavan tuotteen vaatimusten mukaan

Sovellus

Laajalti käytetty moottoripistoissa, liukuvissa tiivistimissä, ei-ferrosmetallien työstötyökaluissa, lääketieteellisissä laitteissa, tarkkuusmobiilipuhelinten komponenteissa ja korkealuokkaisissa koristekomponenteissa sekä muodostaa tiukentavan kalvon.