Maqnetron püskürmə PVD vakuum örtük maşını

Birbaşa soyudulmayan hədəf nüvəsi
Balanssız qapalı maqnit sahəsi
Düz və ya silindrik katod seçimi

Giriş

Düzgün və bərabər metal və birləşmə örtükləri çökməsi üçün müstəvi/rotasiya maqnetron püskürmə texnologiyasından istifadə edir; müxtəlif substratlar və tətbiq sahələri üçün uyğundur

اساس تکنولوژی

■ Seçimli müstəvi/döner hədəflər, güclü uyğunlaşma qabiliyyəti

■ Tam avtomatlaşdırılmış PLC idarəetməsi, asan istismar

■ Tək/qat-qat örtük çəkməyə qabiliyyətli, təmiz film keyfiyyəti

■ Böyük/kiçik və xüsusi formalı detallara uyğundur

Əsas üstünlüklər

■ Sıx və bərabər örtük, güclü yapışma qabiliyyəti

■ Sabit proses, yaxşı təkrarlanma qabiliyyəti

■ Aşağı temperaturda örtük çəkmə, istiyə həssas altlıqlara zərər verməz

■ Hədəflərin yüksək istifadə effektivliyi, aşağı saxlama xərcləri

Əsas konfiqurasiya

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Komora ölçüsü	D700 mm * H700 mm	D1000 mm * H1200 mm	D1400 mm * H1600 mm	D1600 mm * H1800 mm	D1800 mm * H2000 mm
Güc yükü	58KW	75KW	175KW	230 kVt	255 kW
Qoşulma sahəsi	U4200 mm * E4200 mm * H2300 mm	U5400 mm * E5200 mm * H2900 mm	U6155 mm * E5050 mm * H3210 mm	Uzunluğu 6500 mm * Eni 4750 mm * Hündürlüyü 3200 mm	Uzunluğu 7800 mm * Eni 5200 mm * Hündürlüyü 2600 mm
Rənglər	Qızıl, Gümüş, Silah qara, Qızılımtı qızıl, Mavi, Boz, Şəffaf
Örtük filmi	Saf metal filmi, ərinti filmi, birləşik film; Sərtlik 500–3000 HV, sıx və aşınmaya davamlı
Vakuum sistemi	Difuziya nasosu / Turbo molekulyar nasos + Gücləndirici nasos + Döner vallı nasos + Saxlayan nasos (kriogen nasos və polikold isteğe bağlıdır)
Ən Yaxşı Vakum	5* 10 ^-4Pa (Təmiz və boş kamera)
Fırlanma Sistemi	Planet dönməsi və fırlanması 6/8/10/12/16 oxlu

Örtük Sistemi	CKB ^®Planar Sputterinq Katodu / CKB ^®Silindr Çubuğu Sputterinq Katodu / IET ^®Eroziya / Paylanmış MFC Qaz Yolu / HIPIMS Sputterinq


Güc təchizatı	Pulsasiyalı DC Sputterinq Gücü / Bipolyar Sputterinq Gücü / RF Sputterinq Gücü / Pulsasiyalı Bias Gücü / HIPIMS Gücü / IET ^®güc
Əməliyyat Sistemi	Tam avtomatik (İPU/PLC) + Uzaqdan idarəetmə + Xəbərdarlıq sistemi (OPC-UA bağlantı protokolu mövcuddur)

Qeyd	Xüsusi konfiqurasiya ölçüsü müştərinin örtük məhsullarına dair tələblərinə uyğun olaraq hazırlanabilir

Tətbiq

Bu sistem geniş miqyasda dəmir-başlı dekorativ hissələr, ev texnikasının şüşə detalları, avtomobil hissələri, 3C rəqəmsal məhsullar, optik linzalar, şüşə kosmetika şişələri, yarımkeçirici komponentlər, dəqiqlik cihazlarının komponentləri və yüksək səviyyəli bəzək əşyalarında istifadə olunur; zəngin rənglər təqdim edə bilər və bircins, sıx örtük təbəqəsi formalaşdırır.