Mašina za vakumno premazivanje PVD sa magnetronskim prskanjem

Indirektno hlađen ciljno jezgro
Neuravnoteženo zatvoreno magnetno polje
Planarna/cilindrična katoda opciono

Uvod

Uzima tehnologiju sputeranja magnetronom, može da deponuje gusto i jednaki metalni i složen film, pogodan za različite supstrate i scenarije

Osnovna tehnologija

■ Opcionalni planarni/rotirajući ciljevi, velika prilagodljivost

■ Potpuno automatska kontrola PLC-om, jednostavna upotreba

■ Moguće jednokrasno/višelakano premazivanje, čisti kvalitet filma

■ Pogodan za velike/male i specijalno oblikovane dijelove

Jedinstvene prednosti

■ Gosti i jednaki film sa snažnom adhezijom

■ stabilan proces sa dobrom ponovljivost

■ niskotemperaturni premaz, bez oštećenja toplotno osetljivih supstrata

■ Visoka ciljna upotreba, niske troškove održavanja

Osnovna konfiguracija

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Veličina prostora	D700mm*H700mm	D1000mm*H1200mm	D1400mm*H1600mm	D1600mm*H1800mm	D1800mm*H2000mm
Snaga	58 kW	75KW	175 kW	230 kW	255 kW
Područje za slijetanje	L4200mmW4200mmH2300mm	L5400mmW5200mmH2900mm	L6155mmW5050mmH3210mm	U slučaju da je to moguće, mora se upotrebljavati samo jedan od sljedećih postupaka:	L7800mmW5200mmH2600mm
Boje premaza	Zlatno, Srebro, Puška Crna, Ružičasto Zlato, Plavo, Sivo, Prozirno
S druge strane,	Čisti metalni film, legirani film, kompozicijski film; tvrdoća 500~3000HV, gust i otporan na habanje
Vakuumski sistem	Difuzna pumpa/Turbo molekularna pumpa +Booster pumpa + Rotary vane pumpa+Holding pumpa ((kriogena pumpa i policold su opcionalni)
Krajnji vakuum	5* 10 ^-4Pa (čista i prazna komora)
Sistem rotacije	Planetarna rotacija i revolucija os 6/8/10/12/16

Sistem premaza	CKB ^®Katod za ravan sputiranje / CKB ^®Katod za prskanje cevima IET ^®Kraviranje / Raspoređeni MFC gasni put / HIPIMS sputtering


Napajanje	Pulsna DC snaga / Bipolarna snaga Snaga RF sputteriranja / Snaga pulsiranog pristranosti / Snaga HIPIMS / IET ^®snaga
Operativni sistem	Potpuno automatski (IPC/PLC) +Distantno upravljanje + Sistem alarma (OPC-UA Link protokol dostupan)

Napomena	Specifična veličina konfiguracije može se dizajnirati u skladu sa zahtjevima kupaca za proizvodom premaza

Primjena

Široko se koristi u uređajima za dekorativne dijelove, staklu za kućne aparate, automobilskim dijelovima, 3C digitalnim proizvodima, optičkim sočivima, staklenim kozmetskim bocama, komponentama poluprovodnika, komponentama preciznih instrumenata i visokokvalitetnim umetničkim ukras