Magnetronový rozprašovací PVD vakuový nástřikový stroj

Nepřímo chlazené jádro terčového zdroje
Nevyvážené uzavřené magnetické pole
Rovinná nebo válcová katoda (volitelné)

Úvod

Využívá planární nebo rotační magnetronovou technologii naprašování, umožňuje nanášet husté a rovnoměrné kovové a sloučeninové vrstvy, vhodné pro různé podložky a aplikace

Klíčová technologie

■ Volitelné rovinné/rotační terče, vysoká přizpůsobivost

■ Plně automatické řízení pomocí PLC, snadná obsluha

■ Schopnost jednovrstvého i vícevrstvého nanesení povlaku, vysoká kvalita čistého povlaku

■ Vhodné pro velké i malé a speciálně tvarované obrobky

Jádrová výhody

■ Hustý a rovnoměrný povlak s vysokou přilnavostí

■ Stabilní proces s dobrým opakováním výsledků

■ Nanesení povlaku za nízké teploty, žádné poškození tepelně citlivých podkladů

■ Vysoká využitelnost terče, nízké náklady na údržbu

Základní konfigurace

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Chamber size	Ø700 mm × V700 mm	Ø1000 mm × V1200 mm	Ø1400 mm × V1600 mm	Ø1600 mm × V1800 mm	Ø1800 mm × V2000 mm
Power Load	58KW	75KW	175KW	230kW	255 kW
Plocha pro přistání	D4200 mm × Š4200 mm × V2300 mm	D5400 mm × Š5200 mm × V2900 mm	D6155 mm × Š5050 mm × V3210 mm	D6500 mm × Š4750 mm × V3200 mm	L7800 mm × Š5200 mm × V2600 mm
Barvy povlaku	Zlatá, stříbrná, černá („gun metal“), růžové zlato, modrá, šedá, průhledná
Povlakové fólie	Fólie z čistého kovu, slitinová fólie, složená fólie; tvrdost 500 až 3000 HV, hustá a odolná proti opotřebení
Vakuový systém	Difúzní vývěva / turbomolekulární vývěva + zvyšovací vývěva + rotační lopatková vývěva + udržovací vývěva (kryogenní vývěva a polycold jsou volitelné)
Konečný vakuum	5 × 10 ^-4Pa (čistá a prázdná komora)
Rotační systém	Planetární rotace a revoluce 6 / 8 / 10 / 12 / 16 os

Nátěrový systém	CKB ^®Rovinná naprašovací katoda / CKB ^®Válcová tyčová naprašovací katoda / IET ^®Rytmické leptání / Distribuovaná plynová dráha MFC / HIPIMS naprašování


Napájení	Pulzní stejnosměrné naprašování / Bipolární naprašování RF naprašovací výkon / Pulsující záporný výkon / HIPIMS výkon / IET ^®výkon
Operační systém	Plně automatický systém (IPC/PLC) + dálkový provoz + poplachový systém (K dispozici protokol propojení OPC-UA)

Poznámka	Konkrétní rozměry konfigurace lze navrhnout podle požadavků zákazníka na povlakové výrobky

Aplikace

Široce používané u dekorativních součástí pro technické vybavení, skla domácích spotřebičů, automobilových dílů, digitálních výrobků 3C, optických čoček, skleněných lahviček pro kosmetiku, polovodičových komponent, součástí přesných přístrojů a vysoce kvalitních řemeslných ozdob; umožňují vytvořit bohatou paletu barev a homogenní, hustou vrstvu povlaku.