Μηχάνημα Μαγνητρονικής Σκέδασης PVD Υπό Κενό

Πυρήνας στόχου με έμμεση ψύξη
Ανισορροπημένο κλειστό μαγνητικό πεδίο
Επίπεδη/Κυλινδρική κάθοδος προαιρετική

Εισαγωγή

Χρησιμοποιεί τεχνολογία μαγνητρονικής εναπόθεσης επίπεδης/περιστρεφόμενης μορφής και επιτρέπει την εναπόθεση πυκνών και ομοιόμορφων μεταλλικών και σύνθετων φιλμ, κατάλληλων για διάφορα υποστρώματα και εφαρμογές

Βασική τεχνολογία

■ Προαιρετικοί επίπεδοι/περιστροφικοί στόχοι, υψηλή προσαρμοστικότητα

■ Πλήρως αυτόματος έλεγχος με PLC, εύκολη λειτουργία

■ Δυνατότητα επίστρωσης μονού/πολλαπλών στρωμάτων, καθαρή ποιότητα φιλμ

■ Κατάλληλο για μεγάλα/μικρά και ειδικού σχήματος αντικείμενα εργασίας

Βασικά Προβάδια

■ Πυκνό και ομοιόμορφο φιλμ με ισχυρή πρόσφυση

■ Σταθερή διαδικασία με καλή επαναληψιμότητα

■ Επίστρωση χαμηλής θερμοκρασίας, χωρίς ζημιά σε θερμοευαίσθητα υποστρώματα

■ Υψηλή αξιοποίηση του στόχου, χαμηλό κόστος συντήρησης

Βασική διαμόρφωση

Μοντέλο	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Διαστάσεις Καμβάριου	Διάμετρος 700 mm × Ύψος 700 mm	Δ1000 mm × Υ1200 mm	Δ1400 mm × Υ1600 mm	Διάμετρος 1600 mm × Ύψος 1800 mm	Δ1800 mm × Υ2000 mm
Power Load	58ΚW	75ΚW	175ΚΥΑ	230kW	255kw
Περιοχή Προσγείωσης	Μ4200 mm × Π4200 mm × Υ2300 mm	Μ5400 mm × Π5200 mm × Υ2900 mm	Μ6155 mm × Π5050 mm × Υ3210 mm	Μ6500 mm × Π4750 mm × Υ3200 mm	Μ7800 mm × Π5200 mm × Υ2600 mm
Χρώματα επιστρώματος	Χρυσό, Ασημί, Μαύρο όπλου, Ροζ χρυσό, Μπλε, Γκρι, Διαφανές
Επιστρώματα UV	Καθαρό μεταλλικό φιλμ, κράμα φιλμ, σύνθετο φιλμ· Σκληρότητα 500–3000 HV, πυκνό και ανθεκτικό στη φθορά
Σύστημα κενού	Αντλία διάχυσης/Αντλία τουρμπομοριακή + Ενισχυτική αντλία + Αντλία περιστροφικών πτερυγίων + Αντλία συγκράτησης (κρυογενική αντλία και πολυψυκτική αντλία είναι προαιρετικές)
Απόλυτος Κενός	5 × 10 ^-4Pa (Καθαρή και άδεια θάλαμος)
Σύστημα Περιστροφής	Πλανητική περιστροφή και μεταφορική κίνηση 6/8/10/12/16 άξονες

Σύστημα Επικάλυψης	CKB ^®Επίπεδη Κάθοδος Απόθεσης με Σκέδαση / CKB ^®Κυλινδρική Ράβδος Κάθοδου Απόθεσης με Σκέδαση / IET ^®Ξύσμα / Διανεμημένη Διαδρομή Αερίου MFC / Απόθεση με Σκέδαση HIPIMS


Χορήγηση ενέργειας	Δυναμική διασπορά με εναλλασσόμενο ρεύμα σε παλμούς / Δυναμική διασπορά με διπολικό ρεύμα / Ισχύς RF Απόθεσης με Σκέδαση / Ισχύς Εναλλασσόμενης Πόλωσης / Ισχύς HIPIMS / IET ^®δύναμη
Λειτουργικό Σύστημα	Πλήρως αυτόματο (IPC/PLC) + Απομακρυσμένη λειτουργία + Σύστημα συναγερμού (Διαθέσιμο πρωτόκολλο σύνδεσης OPC-UA)

Παρατήρηση	Το συγκεκριμένο μέγεθος της διαμόρφωσης μπορεί να σχεδιαστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη για το επικαλυπτόμενο προϊόν

Εφαρμογή

Χρησιμοποιείται ευρέως σε διακοσμητικά εξαρτήματα υλικού, γυάλινα εξαρτήματα οικιακών συσκευών, αυτοκινητικά εξαρτήματα, ψηφιακά προϊόντα 3C, οπτικοί φακοί, γυάλινα μπουκάλια καλλυντικών, ημιαγωγικά εξαρτήματα, εξαρτήματα ακριβείας οργάνων και εξαρτήματα υψηλής ποιότητας για τέχνη και χειροτεχνία· μπορεί να παρουσιάζει πλούσια χρώματα και να σχηματίζει ομοιόμορφο και πυκνό φιλμ.