Магнетрон сүүдэрлүүр PVD вакуум покрытийн машина

Шууд бүхсгүй хөхрүүлсэн таргетын цөм
Тэнцвэрт бүзгүй хаалттой соронзон тал
Хавтгай/Цилиндрик катод сонгож болно

Доторх оролт

Хавтгай/эргэлдүүр магнетрон сүүдэрлүүр технологийг ашигладаг, нягт ба нэдүүр шүүдэрлүүр хөнгөн цагаан ба нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө нөгөө......

Үндсэн технологи

■ Сонгомуйн хавтгай/эргүүлэх зориулалттой зүйлс, өндөр тааруулж чадах чадвар

■ Бүтнэд автомат PLC удирдлагатай, ашиглаж хялбар

■ Нэг/олон давхарга нанохуудас үүсгэж чадах, цэвэр нанохуудасын чанар

■ Том/жижиг ба онцгой хэлбэртүүн деталд тохиромуйн

Үндсэн хамгаалалтын асуудлууд

■ Нягт, нэдүүлж чадах нанохуудас, бат бүрхүүл холбоос

■ Тогтвортой технологийн процесс, дахин давтамуйн чанар сайн

■ Бага температурт нанохуудас үүсгэх, дулаан-маягт суурин дээр хориглох нөлөө үзүүлэхгүй

■ Зүйлсийн үр ашиг өндөр, үйлдэх зардал бага

Үндсэн загвар

Загвар	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Хавтаасын хэмжээ	Д700 мм × Ө700 мм	Диаметр 1000 мм * Өндөр 1200 мм	Диаметр 1400 мм * Өндөр 1600 мм	Диаметр 1600 мм × Өндөр 1800 мм	Диаметр 1800 мм * Өндөр 2000 мм
Power Load	58квт	75кВт	175КВ	230 кВт	255кв
Бүүрхүүл бүүрхүүл	Урт 4200 мм × Өргөн 4200 мм × Өндөр 2300 мм	Урт 5400 мм × Өргөн 5200 мм × Өндөр 2900 мм	Урт 6155 мм × Өргөн 5050 мм × Өндөр 3210 мм	Урт 6500 мм × Өргөн 4750 мм × Өндөр 3200 мм	Урт 7800 мм × Өргөн 5200 мм × Өндөр 2600 мм
Давхарга өнгөнүүд	Алтан, Цагаан, Хар төмөр, Розын алтан, Хөх, Сүүдэр, Дайралдашгүй
Давхарга нь цацрагт хамгаалалт	Цэвэр металл плёнк, дагалдашгүй холимог плёнк, нийлмүүл плёнк; Төмөрлөг 500–3000 HV, нягт ба хүчтүүр
Вакуум систем	Диффузион насос/Турбо молекулар насос + Түлхүүр насос + Эргэлдүүн хавтаст насос + Барьж держащ насос (криоген насос ба поликолд сонгомжтой)
Эцсийн вакуум	5*10 ^-4Па (Цэвэр ба хоосон камер)
Эргэх систем	Планетар эргэлдүүн ба бүртгэлдүүн хөдөлгөөн 6/8/10/12/16 тэнхлэг

Бүрхүүл систем	CKB ^®Хавтгай цацрагт катод / CKB ^®Цилиндр шатуун цацрагт катод / IET ^®Цацрагт хүчдэл үүсгэх / Тархмал MFC хийн зам / HIPIMS цацрагт хүчдэл үүсгэх


Цахилгаан хангамж	Импульс тогтмол гүйдлийн цацрагт хүч / Хоёр туйлт цацрагт хүч / Радио давтамжийн цацрагт хүчдэл үүсгэх / Импульс бүрдүүлэлтийн хүчдэл үүсгэх / HIPIMS хүчдэл үүсгэх / IET ^®хүч
Үйлдлийн систем	Бүрэн автомат (ИПК/ПЛК) + Алс зайн удирдлага + Аварийн систем (OPC-UA холболтын протокол боломжтой)

Тэмдэглэл	Тодорхой конфигурацийн хэмжээг захиалагчийн будагт бүтээдсийн шаардлагад нийцүүр хийн төсөөлж болно

Хэрэглээ

Түүнийг үүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүлэх хэрэгсэл, гадаа урьдчилан төрөлхийн хүрдүүл......