Manyeton Sputter PVD Vakum Kaplama Makinesi

Dolaylı Soğutmalı Hedef Çekirdeği
Dengesiz Kapalı Manyetik Alan
Düzlemsel/Silindirik Katot Seçeneği

Giriş

Düzlemsel/döner manyetron püskürtme teknolojisi kullanır; yoğun ve homojen metal ile bileşik filmler oluşturabilir; çeşitli alt tabakalar ve uygulama alanları için uygundur

Temel Teknoloji

■ İsteğe bağlı düzlemsel/döner hedefler, güçlü uyumluluk

■ Tam otomatik PLC kontrolü, kolay kullanım

■ Tek/katmanlı kaplama yapabilme, saf film kalitesi

■ Büyük/küçük ve özel şekilli iş parçaları için uygundur

Temel Avantajlar

■ Yoğun ve homojen film, güçlü yapışma özelliği

■ Kararlı süreç, iyi tekrarlanabilirlik

■ Düşük sıcaklıkta kaplama, ısıya duyarlı alt tabakalara zarar vermez

■ Yüksek hedef kullanımı, düşük bakım maliyeti

Temel yapılandırma

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Odalık Boyut	Ç700 mm × Y700 mm	Ç1000 mm * Y1200 mm	Ç1400 mm * Y1600 mm	Ç1600 mm * Y1800 mm	Ç1800 mm * Y2000 mm
Güç Yüklemesi	58KW	75KW	175kw	230kW	255kw
İniş Alanı	U4200 mm * G4200 mm * Y2300 mm	U5400 mm * G5200 mm * Y2900 mm	U6155 mm * G5050 mm * Y3210 mm	U6500 mm * G4750 mm * Y3200 mm	U7800 mm * G5200 mm * Y2600 mm
Kaplama Renkleri	Altın, Gümüş, Tabanca Siyahı, Gül Altın, Mavi, Gri, Şeffaf
Kaplama Filmleri	Saf metal filmi, alaşım filmi, bileşik film; Sertlik 500–3000 HV, yoğun ve aşınmaya dayanıklı
Vakum sistemi	Difüzyon pompası / Turbo moleküler pompası + Takviye pompası + Döner paletli pompası + Tutma pompası (kriyojenik pompa ve polikold isteğe bağlıdır)
Maksimum Vakum	5* 10 ^-4Pa (Temiz ve boş kabin)
Rotasyon sistemi	Gezegenin dönme ve dolanma hareketi 6/8/10/12/16 eksenli

Kaplama Sistemi	CKB ^®Düzlemsel Sputterlama Katodu / CKB ^®Silindir Mili Sputterlama Katodu / IET ^®Ezme / Dağıtılmış MFC Gaz Yolu / HIPIMS Sputterlama


Güç Kaynağı	Darbeli DC Manyetron Gücü / İkikutuplu Manyetron Gücü / RF Sputterlama Gücü / Darbeli Bias Gücü / HIPIMS Gücü / IET ^®güç
İşletim Sistemi	Tam otomatik (IPC/PLC) + Uzaktan İşletim + Alarm Sistemi (OPC-UA Bağlantı Protokolü mevcuttur)

Açıklama	Belirli yapılandırma boyutu, müşteriye ait kaplama ürün gereksinimlerine göre tasarlanabilir

Uygulama

Donanım dekoratif parçalarında, ev aleti camlarında, otomotiv parçalarında, 3C dijital ürünlerde, optik lenslerde, cam kozmetik şişelerinde, yarı iletken bileşenlerde, hassas cihaz bileşenlerinde ve yüksek kaliteli el sanatları süs eşyalarında yaygın olarak kullanılır; zengin renkler sunar ve homojen, yoğun bir film tabakası oluşturur.