Машина за вакуумно напръскване чрез магнетронно разпрашаване (PVD)

Корпус на мишена с непряко охлаждане
Неуравновесено затворено магнитно поле
Плосък/цилиндричен катод по избор

Въведение

Прилага планарна/ротационна магнетронна напръскваща технология, която позволява нанасяне на плътни и равномерни метални и съединителни филми, подходящи за различни субстрати и приложения

Основни технологии

■ Опционални плоски/ротационни мишени, висока адаптивност

■ Пълна автоматизация чрез PLC контрол, лесна експлоатация

■ Възможност за еднослойно/многослойно нанасяне на покритие, високо качество на чистата пленка

■ Подходящо за големи/малки и нестандартни по форма детайли

Основни предимства

■ Плътна и равномерна пленка с отлична адхезия

■ Стабилен процес с добра повтаряемост

■ Нанасяне при ниски температури, без увреждане на термочувствителни субстрати

■ Високо използване на мишените, ниски разходи за поддръжка

Основна конфигурация

Модел	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Размер на камерата	D700 мм × В700 мм	D1000 мм * В1200 мм	D1400 мм * В1600 мм	D1600 мм * В1800 мм	D1800 мм * В2000 мм
Power Load	58KW	75KW	175КВ	230kW	255 kW
Площ за кацане	Д4200 мм * Ш4200 мм * В2300 мм	Д5400 мм * Ш5200 мм * В2900 мм	Д6155 мм * Ш5050 мм * В3210 мм	Д6500 мм * Ш4750 мм * В3200 мм	Д7800 мм × Ш5200 мм × В2600 мм
Цветове на покритието	Златист, сребрист, черен метал, розово злато, син, сив, прозрачен
Филми за покритие	Чист метален филм, сплавен филм, композитен филм; Твърдост 500–3000 HV, плътен и износостоек
Вакуумна система	Дифузионна помпа / Турбомолекулярна помпа + Усилваща помпа + Ротационна пластинчата помпа + Задържаща помпа (криогенна помпа и поликолд са опционални)
Крайна вакуумна	5 × 10 ^-4Pa (Чиста и празна камера)
Ротационна система	Планетарно въртене и революция 6 / 8 / 10 / 12 / 16 оси

Система за покритие	CKB ^®Планарен катод за напръскване / CKB ^®Цилиндричен прът за напръскване / IET ^®Травене / Разпределена газова линия с масов контролен поток (MFC) / Направено по метода HIPIMS напръскване


Енергиен източник	Напрежение за импулсно постояннотоково напластяване / Напрежение за двуполюсно напластяване RF напръскваща мощност / Импулсна поляризираща мощност / Мощност HIPIMS / IET ^®мощност
Операционна система	Пълна автоматизация (IPC/PLC) + Дистанционно управление + Система за аларми (Достъпен е протоколът за връзка OPC-UA)

Забележка	Конкретните размери на конфигурацията могат да се проектират според изискванията на клиента относно нанасяните покрития

Приложение

Широко използвано за декоративни части за фурнитура, стъкло за домакински уреди, автомобилни части, цифрови продукти от категория 3C, оптични лещи, стъклени бутилки за козметика, полупроводникови компоненти, компоненти за прециозни инструменти и висококачествени художествени украшения; позволява получаването на богата палитра от цветове и формирането на равномерен и плътен филмов слой.