Magnetronhajoitus-PVD-tyhjiöpinnoituskone

Epäsuorasti jäähdytetty kohdekärki
Epätasapainoinen suljettu magneettikenttä
Tasomainen/pyöreä katodi valinnaisena

Johdanto

Käyttää tasomaisen tai pyörivän magneettiruutuspinnoitusteknologian, jolla voidaan saada tiukkoja ja yhtenäisiä metalli- ja yhdistepinnoitteita, jotka soveltuvat erilaisille alustoille ja käyttötilanteille

Ydinteknologia

■ Valinnaiset tasomaiset/pyörivät kohteet, erinomainen sopeutumiskyky

■ Täysin automatisoitu PLC-ohjaus, helppokäyttöinen

■ Kykenee yksi- ja monikerroksiseen pinnoitukseen, puhtaan kalvon laatu

■ Soveltuu suurille/pienille ja erimuotoisille työkappaleille

Ytimiset edut

■ Tiukka ja yhtenäinen kalvo vahvalla tarttuvuudella

■ Vakaa prosessi hyvällä toistettavuudella

■ Matalalämpötilainen pinnoitus, ei vahingoita lämpöherkkiä alustoja

■ Korkea kohdemateriaalin hyötyaste, alhaiset huoltokustannukset

Perusmääritys

Malli	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Kamman koko	D700 mm × K700 mm	Halkaisija 1000 mm * korkeus 1200 mm	Halkaisija 1400 mm * korkeus 1600 mm	Halkaisija 1600 mm * korkeus 1800 mm	Halkaisija 1800 mm * korkeus 2000 mm
Power Load	58 kW	75 kW	175KW	230kW	255kw
Landing-alue	Pituus 4200 mm * leveys 4200 mm * korkeus 2300 mm	Pituus 5400 mm * leveys 5200 mm * korkeus 2900 mm	Pituus 6155 mm * leveys 5050 mm * korkeus 3210 mm	Pituus 6500 mm * leveys 4750 mm * korkeus 3200 mm	Pituus 7800 mm * leveys 5200 mm * korkeus 2600 mm
Pintakäsittelyvärit	Kultainen, hopeinen, asemusta, ruusun kulta, sininen, harmaa, läpinäkyvä
Pintakäsittelykalvot	Puhtaasta metallista valmistettu kalvo, seoskalvo, yhdistelmäkalvo; kovuus 500–3000 HV, tiukka ja kulumisvastainen
Tyhjiöjärjestelmä	Diffuusiopumppu / turbo-molekulaaripumppu + lisäpumppu + pyöriväsiipipumppu + säilytyspumppu (cryopumppu ja polycold ovat vaihtoehtoisia)
Loppu-ilmanpainetta	5 * 10 ^-4Pa (puhdas ja tyhjä kammio)
Pyörimisjärjestelmä	Planeetta-akselin pyörähdys ja kiertoliike 6 / 8 / 10 / 12 / 16 akselia

Pintakäsittelyjärjestelmä	CKB ^®Tasomainen sputterikatodi / CKB ^®Sylinterivartinen sputterikatodi / IET ^®Kärsintä / Jakautunut MFC-kaasupolku / HIPIMS-sputtering


Virtalähde	Pulssitettu tasavirtahajoitusvoima / Bipolaarinen hajoitusvoima / RF-sputteriteho / Pulssimainen bias-teho / HIPIMS-teho / IET ^®teho
Käyttöjärjestelmä	Täysautomaattinen (IPC/PLC) + Etäkäyttö + Hälytysjärjestelmä (OPC-UA-linkkiprotokolla saatavilla)

Huomautus	Tarkka konfiguraatiokoko voidaan suunnitella asiakkaan pinnoitettavan tuotteen vaatimusten mukaan

Sovellus

Laajalti käytetty esimerkiksi kulttuuriteollisuuden koristekappaleissa, kotitalouskoneiden lasiosissa, autonosissa, 3C-digitaalituotteissa, optisissa linssiosissa, lasipulloissa kosmetiikkatuotteille, puolijohdekomponenteissa, tarkkuuslaitteiden komponenteissa ja korkealaatuisissa käsityökoristeissa; se mahdollistaa rikkaan värimaailman ja yhtenäisen sekä tiukentuneen kalvokerroksen muodostumisen.