평면/회전식 마그네트론 스퍼터링 기술을 채택하여 밀도가 높고 균일한 금속 및 화합물 박막을 증착할 수 있으며, 다양한 기판 및 응용 분야에 적합합니다
■ 선택 가능한 평면/회전 타겟, 뛰어난 적응성
■ 완전 자동화된 PLC 제어, 간편한 조작
■ 단일층/다중층 코팅 가능, 순수한 필름 품질
■ 대형/소형 및 특수 형상의 작업물에 적합
■ 밀도 높고 균일한 필름, 강력한 접착력
■ 안정적인 공정, 우수한 재현성
■ 저온 코팅, 열에 민감한 기재에 손상 없음
■ 높은 타겟 활용률, 낮은 유지보수 비용
| 모델 | CCZK-700-SF | CCZK-1012-SF | CCZK-1416-SF | CCZK-1618-SF | CCZK-1820-SF |
| 챔버 크기 | D700mm*H700mm | 지름 1000mm × 높이 1200mm | 지름 1400mm × 높이 1600mm | 지름 1600mm × 높이 1800mm | 지름 1800mm × 높이 2000mm |
| 파워 로드 | 58킬로와트 | 75KW | 175kw | 230kW | 255kW |
| 착지 영역 | 길이 4200mm × 폭 4200mm × 높이 2300mm | 길이 5400mm × 폭 5200mm × 높이 2900mm | 길이 6155mm × 폭 5050mm × 높이 3210mm | 길이 6500mm × 폭 4750mm × 높이 3200mm | L7800mm*W5200mm*H2600mm |
| 코팅 색상 | 골드, 실버, 건 블랙, 로즈 골드, 블루, 그레이, 투명 | ||||
| 코팅 필름 | 순금속 필름, 합금 필름, 복합 필름; 경도 500~3000HV, 밀도가 높고 내마모성 우수 | ||||
| 진공 시스템 | 확산 펌프/터보 분자 펌프 + 부스터 펌프 + 회전 베인 펌프 + 홀딩 펌프(저온 펌프 및 폴리콜드는 선택 사양) | ||||
| 최종 진공도 | 5*10 -4Pa (청결하고 비어 있는 챔버) | ||||
| 회전 시스템 | 행성식 회전 및 공전 6/8/10/12/16축 |
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| 코팅 시스템 | CKB ®평면 스퍼터링 캐소드 / CKB ®실린더 로드 스퍼터링 캐소드 / IET ®에칭 / 분산형 MFC 가스 경로 / HIPIMS 스퍼터링 |
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| 전원 공급 장치 | 펄스 DC 스퍼터링 전원 / 양극성 스퍼터링 전원 / RF 스퍼터링 전원 / 펄스 바이어스 전원 / HIPIMS 전원 / IET ®전력 |
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| 운영 체제 | 완전 자동화(IPC/PLC) + 원격 조작 + 경보 시스템 (OPC-UA 링크 프로토콜 지원) |
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| 비고 | 구체적인 구성 크기는 고객의 코팅 제품 요구 사항에 따라 설계할 수 있습니다 | ||||
하드웨어 장식 부품, 가전제품 유리, 자동차 부품, 3C 디지털 제품, 광학 렌즈, 유리 화장품 병, 반도체 부품, 정밀 계측기 부품, 고급 공예 장식품 등에 널리 사용되며, 풍부한 색상을 구현하고 균일하며 밀도 높은 필름층을 형성할 수 있습니다.
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