Magnetron-sputter-PVD-vacuumbekleedingsmachine

Indirect gekoelde doelkern
Ongebalanceerd gesloten magnetisch veld
Planaire/cilindrische kathode, optioneel

Inleiding

Gebruikt planaire/roterende magnetron-sputtertechnologie en kan dichte en uniforme metalen- en verbindingfilms afzetten, geschikt voor diverse substraten en toepassingsgebieden

Kerntechnologie

■ Optionele vlakke/roterende doelwitten, grote aanpasbaarheid

■ Volledig automatische PLC-bediening, eenvoudige bediening

■ Geschikt voor enkel-/meervoudige laagcoating, zuivere filmkwaliteit

■ Geschikt voor grote/kleine en speciaal gevormde werkstukken

Kernvoordelen

■ Dichte en uniforme film met sterke hechting

■ Stabiel proces met goede reproduceerbaarheid

■ Coating bij lage temperatuur, geen schade aan warmtegevoelige substraatmateriaal

■ Hoge doelwitbenutting, lage onderhoudskosten

Basisconfiguratie

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Chamber size	D700 mm × H700 mm	D1000 mm × H1200 mm	D1400 mm × H1600 mm	D1600 mm × H1800 mm	D1800 mm × H2000 mm
Power Load	58KW	75KW	175KW	230kW	255kw
Landingsgebied	L4200 mm × B4200 mm × H2300 mm	L5400 mm × B5200 mm × H2900 mm	L6155 mm × B5050 mm × H3210 mm	L6500 mm × B4750 mm × H3200 mm	L7800 mm × B5200 mm × H2600 mm
Coatingkleuren	Goud, Zilver, Wapenzwart, Roosgoud, Blauw, Grijs, Transparant
Coatingfilms	Zuivere metaalfilm, legeringsfilm, samengestelde film; Hardheid 500–3000 HV, compact en slijtvast
Vacuümsysteem	Diffusiepomp/turbomoleculaire pomp + boosterpomp + draaivleugelpomp + houdpomp (cryopomp en polycold zijn optioneel)
Uiteindelijke Vacuüm	5 × 10 ^-4Pa (schone en lege kamer)
Roteersysteem	Planetaire rotatie en revolutie 6/8/10/12/16-assig

Coatingsysteem	CKB ^®Planair sputterkathode / CKB ^®Cilindrische staaf-sputterkathode / IET ^®Etsen / Gedistribueerd MFC-gaspad / HIPIMS-sputteren


Stroomvoorziening	Gepulste gelijkstroom-sputtervermogen / Bipolaire sputtervermogen / RF-sputtervermogen / Pulsed-biasvermogen / HIPIMS-vermogen / IET ^®vermogen
Besturingssysteem	Volledig automatisch (IPC/PLC) + bediening op afstand + alarmsysteem (OPC-UA-koppelingsprotocol beschikbaar)

Opmerking	De specifieke configuratie-afmeting kan worden ontworpen op basis van de coatingproductvereisten van de klant

Toepassing

Wijdverspreid gebruikt in decoratieve hardwareonderdelen, glas voor huishoudelijke apparaten, auto-onderdelen, 3C-digitale producten, optische lenzen, glazen cosmetische flessen, halfgeleidercomponenten, precisie-instrumentonderdelen en hoogwaardige sierkunstvoorwerpen; het kan rijke kleuren weergeven en een uniforme en dichte filmlaag vormen.