Maszyna do napylania próżniowego PVD metodą rozprysku magnetronowego

Jądro celownika chłodzone pośrednio
Niezrównoważone zamknięte pole magnetyczne
Opcjonalna katoda płaska/cylindryczna

Wprowadzenie

Zastosowano płaską/obrotową technologię napylania magnetronowego, umożliwiającą osadzanie gęstych i jednorodnych warstw metalicznych oraz związków chemicznych, odpowiednich dla różnych podłoży i zastosowań

Technologia podstawowa

■ Opcjonalne cele płaskie/obrotowe, duża elastyczność

■ W pełni zautomatyzowana kontrola PLC, łatwa obsługa

■ Możliwość nanoszenia jedno- lub wielowarstwowych powłok, wysoka jakość czystej warstwy

■ Przystosowany do dużych/małych oraz niestandardowych kształtem przedmiotów

Podstawowe Zalety

■ Gęsta i jednolita warstwa o silnej przyczepności

■ Stabilny proces z dobrą powtarzalnością

■ Nanoszenie powłoki w niskiej temperaturze – brak uszkodzeń podłoży wrażliwych na ciepło

■ Wysokie wykorzystanie tarczy docelowej, niski koszt konserwacji

Podstawowa konfiguracja

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Rozmiar komory	Ø700 mm × Wys. 700 mm	Średnica 1000 mm × wysokość 1200 mm	Średnica 1400 mm × wysokość 1600 mm	Średnica 1600 mm × wysokość 1800 mm	Średnica 1800 mm × wysokość 2000 mm
Power Load	58KW	75KW	175 kW	230kW	255kw
Powierzchnia lądowania	Długość 4200 mm × szerokość 4200 mm × wysokość 2300 mm	Długość 5400 mm × szerokość 5200 mm × wysokość 2900 mm	Długość 6155 mm × szerokość 5050 mm × wysokość 3210 mm	Długość 6500 mm × szerokość 4750 mm × wysokość 3200 mm	Długość 7800 mm × szerokość 5200 mm × wysokość 2600 mm
Kolor powłoki	Złoty, srebrny, czarny matowy, różowo-złoty, niebieski, szary, przezroczysty
Powłoki pokryciowe	Czysta folia metalowa, folia stopowa, folia złożona; twardość 500–3000 HV, gęsta i odporna na zużycie
System próżniowy	Pompa dyfuzyjna / turbomolekularna + pompa wspomagająca + pompa wirowa + pompa utrzymująca (pompa kriogeniczna i system Polycold są opcjonalne)
Ostateczna Próżnia	5 × 10 ^-4Pa (czysta i pusta komora)
System obrotowy	Obroty planetarne i obiegowe 6 / 8 / 10 / 12 / 16 osi

System Powłokowy	CKB ^®Katoda napylania planarnego / CKB ^®Katoda napylania z drążkiem cylindrycznym / IET ^®Trawienie / Rozproszona ścieżka gazu z MFC / Napylanie HIPIMS


Zasilacz	Prąd stały impulsowy do napylania / prąd stały dwubiegunowy do napylania / Moc napylania RF / Moc impulsowego polaryzowania / Moc HIPIMS / IET ^®moc
System operacyjny	Pełna automatyzacja (IPC/PLC) + obsługa zdalna + system alarmowy (Dostępny protokół połączenia OPC-UA)

Uwagi	Konkretny rozmiar konfiguracji może być zaprojektowany zgodnie z wymaganiami klienta dotyczącymi powłoki na produkty

Zastosowanie

Szeroko stosowane w elementach dekoracyjnych sprzętu AGD, szkle do urządzeń domowych, częściach samochodowych, produktach cyfrowych 3C, soczewkach optycznych, butelkach szklanych do kosmetyków, komponentach półprzewodnikowych, precyzyjnych elementach przyrządów pomiarowych oraz wyrobach jubilerskich wysokiej klasy – umożliwiają uzyskanie bogatych barw oraz jednolitej, gęstej warstwy powłoki.