Машина за вакуумско премазивање ПВД са магнетонским прскањем

Непосредно хлађено циљно језгро
Неуравнотежено затворено магнетно поље
Планарна/цилиндрична катеда Опционално

Uvod

Узима технологију планарног/ротационог магнетронског прскања, може да депонира густе и равномерне металне и сложене филмове, погодан за различите супстрате и сценарије

Основна технологија

■ Опционални плоски/ротациони циљеви, јака прилагодљивост

■ Потпуно аутоматска контрола ПЛЦ-а, једноставна операција

■ Способни за једно/ вишеслојни премаз, квалитет чистог филма

■ Погодан за велике/мале и специјално обличне делове

КОРЕВНЕ ПРЕДЛУГЕ

■ Густа и равномерна филмова са јаком адхезијом

■ Стабилни процес са добром понављањем

■ Нискотемпературно премазивање, без оштећења топлотно осетљивих субстрата

■ Висока циљана употреба, ниски трошкови одржавања

Основна конфигурација

Model	ЦЦЗК-700-СФ	ЦЦЗК-1012-СФ	ЦЦЗК-1416-СФ	ЦЦЗК-1618-СФ	ЦЦЗК-1820-СФ
Величина коморе	Д700мм*Х700мм	Д1000мм*Х1200мм	Д1400мм*Х1600мм	Д1600мм*Х1800мм	Д1800мм*Х2000мм
Power Load	58КВт	75КВт	175кВт	230КВ	255КВ
Пољоприземље	Л4200ммВ4200ммХ2300мм	Л5400ммВ5200ммХ2900мм	Л6155ммВ5050ммХ3210мм	Л6500ммВ4750ммХ3200мм	Л7800ммВ5200ммХ2600мм
Боје за премазивање	Златни, сребрни, пушкини црни, ружичасти златни, плави, сиви, транспарентни
Филмови за премазивање	Чисти метални филм, легурани филм, сложени филм; Тврдоћа 500 ~ 3000HV, густа и отпорна на зношење
Вакуумски систем	Дифузијска пумпа/Турбо молекуларна пумпа +Пустер пумпа + Ротациона пумпа+Трпивна пумпа ((криогенска пумпа и полицолд је неопходно)
Увршни вакуум	5* 10 ^-4Па (чиста и празна комора)
Ротациони систем	Планетарна ротација и револуција оси 6/8/10/12/16

Sistem za premazivanje	ЦКБ ^®Планарна катода за прскање / ЦКБ ^®Катода за прскање цилиндра / ИЕТ ^®Ецтинг / Дистрибуиран МФЦ гасни пут / ХИПИМС Путринг


Снабдевање струјом	Импулсирана ЦЦ Спуттеринг снага / Биполарна Спуттеринг снага / РФ путерње снаге / Пулсирана биас снага / ХИПИМС снага / ИЕТ ^®snagu
Оперативни систем	Потпуно аутоматски ((IPC/PLC) + Даљински рад + Аларман систем (Протокол ОПЦ-УА линк доступан)

Napomena	Величина специфичне конфигурације може се дизајнирати у складу са захтевима производа за премазивање клијента

Primena

Широко се користи у хардверским декоративним деловима, стаклу за кућне уређаје, аутомобилским деловима, 3Ц дигиталним производима, оптичким сочивима, стакленим козметичким флашицама, полупроводничким компонентама, компонентама прецизних инструмената и висококвалитетним укра