เครื่องเคลือบสุญญากาศแบบแมกเนตรอนสปัตเทอริง (Magnetron Sputtering PVD)

แกนเป้าหมายที่ทำให้เย็นทางอ้อม
สนามแม่เหล็กแบบปิดที่ไม่สมดุล (Unbalanced Closed Magnetic Field)
แคโทดแบบแบน/แบบทรงกระบอก (เลือกได้)

บทนำ

ใช้เทคโนโลยีการสปัตเตอริงด้วยแม่เหล็กแบบระนาบ/หมุน สามารถสะสมฟิล์มโลหะและฟิล์มสารประกอบที่มีความหนาแน่นสูงและสม่ำเสมอ เหมาะสำหรับวัสดุพื้นฐานและสถานการณ์ต่าง ๆ หลากหลายประเภท

เทคโนโลยีหลัก

■ เป้าหมายแบบระนาบ/หมุนแบบเลือกได้ ปรับตัวได้ดีมาก

■ ควบคุมด้วย PLC แบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ใช้งานง่าย

■ สามารถเคลือบแบบชั้นเดียวหรือหลายชั้น ได้ฟิล์มที่มีคุณภาพสูงบริสุทธิ์

■ เหมาะสำหรับชิ้นงานขนาดใหญ่/เล็ก และชิ้นงานรูปร่างพิเศษ

จุดเด่นหลัก

■ ฟิล์มมีความหนาแน่นสม่ำเสมอและยึดเกาะได้แข็งแรง

■ กระบวนการผลิตมีความเสถียรและให้ผลซ้ำได้ดี

■ การเคลือบที่อุณหภูมิต่ำ ไม่ทำลายวัสดุพื้นฐานที่ไวต่อความร้อน

■ การใช้เป้าหมายมีประสิทธิภาพสูง ค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาน้อย

การตั้งค่าพื้นฐาน

รุ่น	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
ขนาดห้อง	D700 มม. × สูง 700 มม.	เส้นผ่านศูนย์กลาง 1000 มม. × สูง 1200 มม.	เส้นผ่านศูนย์กลาง 1400 มม. × สูง 1600 มม.	เส้นผ่านศูนย์กลาง 1600 มม. × สูง 1800 มม.	เส้นผ่านศูนย์กลาง 1800 มม. × สูง 2000 มม.
Power Load	58kw	75kW	175KW	230kW	255kw
พื้นที่ลงจอด	ยาว 4200 มม. × กว้าง 4200 มม. × สูง 2300 มม.	ยาว 5400 มม. × กว้าง 5200 มม. × สูง 2900 มม.	ยาว 6155 มม. × กว้าง 5050 มม. × สูง 3210 มม.	ยาว 6500 มม. × กว้าง 4750 มม. × สูง 3200 มม.	ยาว 7800 มม. × กว้าง 5200 มม. × สูง 2600 มม.
สีเคลือบผิว	สีทอง สีเงิน สีดำแบบปืน สีโรสโกลด์ สีน้ำเงิน สีเทา ใส
ฟิล์มเคลือบผิว	ฟิล์มโลหะบริสุทธิ์ ฟิล์มโลหะผสม ฟิล์มประกอบ; ความแข็ง 500–3000 HV มีความหนาแน่นสูงและทนต่อการสึกหรอ
ระบบสูบ	ปั๊มดูดแบบแพร่กระจาย / ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ + ปั๊มเสริมแรงดัน + ปั๊มใบพัดหมุน + ปั๊มคงสภาพ (ปั๊มไครโอเจนิกและปั๊มโพลีโคลดเป็นตัวเลือกเพิ่มเติม)
ความว่างเปล่าสูงสุด	5 × 10 ^-4Pa (ห้องสะอาดและว่างเปล่า)
ระบบหมุน	การหมุนรอบตัวเองและการโคจรแบบดาวเคราะห์ 6 / 8 / 10 / 12 / 16 แกน

ระบบเคลือบ	CKB ^®คาโทดสปัตเตอริงแบบระนาบ / CKB ^®คาโทดสปัตเตอริงแบบทรงกระบอกพร้อมก้าน / IET ^®การกัดกร่อน / เส้นทางการไหลของก๊าซ MFC แบบกระจาย / สปัตเตอริง HIPIMS


การให้พลังงาน	แหล่งจ่ายพลังงานแบบสปัตเตอริงกระแสตรงแบบเป็นจังหวะ / แหล่งจ่ายพลังงานแบบสปัตเตอริงสองขั้ว แหล่งจ่ายกำลังสปัตเตอริง RF / แหล่งจ่ายกำลังไบแอสแบบพัลส์ / แหล่งจ่ายกำลัง HIPIMS / IET ^®พลังงาน
ระบบปฏิบัติการ	ระบบควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ (ผ่าน IPC/PLC) + การควบคุมจากระยะไกล + ระบบแจ้งเตือน (รองรับโปรโตคอลการเชื่อมต่อ OPC-UA)

หมายเหตุ	ขนาดการจัดวางระบบที่เฉพาะเจาะจงสามารถออกแบบได้ตามความต้องการของลูกค้าเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์ที่ต้องการเคลือบ

การประยุกต์ใช้

ใช้กันอย่างแพร่หลายในชิ้นส่วนตกแต่งฮาร์ดแวร์ กระจกเครื่องใช้ในบ้าน ชิ้นส่วนยานยนต์ ผลิตภัณฑ์ดิจิทัล 3C เลนส์ออปติก ขวดเครื่องสำอางแก้ว ชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนเครื่องมือความแม่นยำสูง และเครื่องประดับฝีมือระดับพรีเมียม สามารถให้สีสันที่หลากหลายและสร้างชั้นฟิล์มที่สม่ำเสมอและหนาแน่น