Magnetron-sputter-PVD-vakuumbelägningsmaskin

Indirekt kyld målkärna
Obalanserat slutet magnetfält
Planär/cylindrisk katod, valfritt

Introduktion

Använder planär/roterande magnetron-sprutningsteknik och kan avsätta täta och enhetliga metall- och sammansatta filmer, lämpliga för olika underlag och applikationer

Grundteknik

■ Valfria plana/roterande mål, stark anpassningsförmåga

■ Fullt automatisk PLC-styrning, lätt att hantera

■ Kan applicera enkel-/flerlagersbeläggning, ren filmkvalitet

■ Lämplig för stora/små och särskilt formade arbetsstycken

Kärnfördelar

■ Tät och jämn film med stark vidhäftning

■ Stabil process med god återupprepningsförmåga

■ Beläggning vid låg temperatur, orsakar ingen skada på värmeempfindliga underlag

■ Hög målnyttjning, låg underhållskostnad

Grundkonfiguration

Modell	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Kammarstorlek	D700 mm × H700 mm	D1000 mm * H1200 mm	D1400 mm * H1600 mm	D1600 mm * H1800 mm	D1800 mm * H2000 mm
Power Load	58KW	75KW	175KW	230 kW	255kw
Landningsyta	L4200 mm * B4200 mm * H2300 mm	L5400 mm * B5200 mm * H2900 mm	L6155 mm * B5050 mm * H3210 mm	L6500 mm * B4750 mm * H3200 mm	L7800 mm * B5200 mm * H2600 mm
Omfärgningar	Guld, Silver, Pistolsvart, Roséguld, Blått, Grått, Transparent
Omfärgningslager	Ren metallfilm, legeringsfilm, sammansatt film; Hårdhet 500–3000 HV, tät och slitstark
Vakuumsystem	Diffusionspump/turbo-molekylär pump + förstärkarpump + rotationsvanespump + hållpump (kryopump och polycold är valfritt)
Slutgiltigt vakuum	5*10 ^-4Pa (Ren och tom kammare)
Rotationssystem	Planetarisk rotation och revolution 6/8/10/12/16 axlar

Beläggningssystem	CKB ^®Planar sputterkathod / CKB ^®Cylinderrörsputterkathod / IET ^®Ätning / Distribuerad MFC-gasväg / HIPIMS-sputtring


Strömförsörjningsaggregat	Pulserad likströmssprutningskraft / Bipolär sprutningskraft / RF-sputtereffekt / Pulsad bias-effekt / HIPIMS-effekt / IET ^®ström
Operativsystem	Fullt automatiskt (IPC/PLC) + Fjärrdrift + Larmsystem (OPC-UA-länkprotokoll tillgängligt)

Kommentar	Den specifika konfigurationsstorleken kan anpassas enligt kundens krav på beläggningsprodukter

Ansökan

Används omfattande för dekorativa hårdsaker, glas till hushållsapparater, bilkomponenter, digitala 3C-produkter, optiska linser, glasflaskor för kosmetika, halvledarkomponenter, komponenter till precisionsinstrument och exklusiva hantverksdekorationer; den kan återge rika färger och bilda ett enhetligt och tätt filmskikt.