از فناوری ترکیبی تبخیر پرتو الکترونی/پاشش مگنترون با رسوبدهی کمکشده توسط منبع یونی استفاده میکند، که بهطور ویژه برای لایههای نازک دقیق نوری طراحی شده تا یکنواختی بالا، خلوص بالا و دقت بالا در رسوبگذاری لایههای نوری را تأمین کند.
■ نظارت بر ضخامت لایه بهصورت دوگانه (کریستالی/نوری)، کنترل حلقهبسته کاملاً خودکار
■ ساختار یکپارچهٔ عمودی، فضای اشغالی کم و کاربرد آسان
■ رسوبگذاری با کمک منبع یونی، لایهای متراکم و محکم
■ حالت دستی/خودکار کامل، مناسب هم برای تحقیق و توسعه و هم برای تولید انبوه
■ سیستم نظارت بر ضخامت لایه وارداتی، دقت کنترل ضخامت ≤±۱٪، تکرارپذیری عالی سیستم لایهگذاری
■ پیشپاکسازی با منبع یونی، چسبندگی لایه به زیرلایه بهطور قابلتوجهی بهبود یافته است
■ محیط خلأ بالا، عدم وجود ناخالصی در لایه، نرخ انطباق ۱۰۰٪ با عملکرد نوری
■ سازگار با فرآیندهای مختلف پوششدهی، قابلیت سازگاری فرآیندی قوی
| مدل | CCZK-1350-OGS | CCZK-1600-OGS | CCZK-2050-OGS |
| اندازه حجره | D1350mm*H1350mm | D1600mm*H1500mm | قطر ۲۰۵۰ میلیمتر × ارتفاع ۱۶۰۰ میلیمتر |
| بارگذاری قدرتمند | 67KW | 86 کیلووات | 105 کیلووات |
| منطقه فرود | طول ۵۷۰۰ میلیمتر × عرض ۴۹۰۰ میلیمتر × ارتفاع ۳۰۵۰ میلیمتر | طول ۶۸۰۰ میلیمتر × عرض ۵۸۰۰ میلیمتر × ارتفاع ۶۷۸۰ میلیمتر | طول ۸۳۰۰ میلیمتر × عرض ۷۰۰۰ میلیمتر × ارتفاع ۴۲۰۰ میلیمتر |
| فیلمهای پوششدهنده | فیلم ضد بازتاب (AR)، فیلم ضد اثر انگشت (AF)، فیلم بازتاب بالا، فیلم فیلتر، فیلم ضد بازتاب پهنباند (BBAR)؛ سختی فیلم AF ≥ ۶H، فیلم نوری متراکم و فاقد حفرههای ریز است | ||
| سیستم خلاء | پمپ انتشاری / پمپ مولکولی توربو + پمپ تقویتکننده + پمپ صفحهای چرخان + پمپ نگهدارنده (پمپ کریوژنیک و پلیکلد اختیاری هستند) | ||
| سیستم نهایی | 5*10-4پاسکال (اتاق تمیز و خالی) | ||
| سیستم چرخش | چرخش و دوران سیارهای ۶ / ۸ / ۱۰ / ۱۲ / ۱۶ محور |
||
| سیستم پوشش دهی | پرتوی الکتریکی نوع E منبع یونهای هال مسیر گاز MFC توزیعشده CTM ®مانیتور ضخامت کریستال کوارتز |
||
| منبع تغذیه | منبع تغذیه پرتوی الکتریکی منبع تغذیه پلاسما |
||
| سیستم عامل | کاملاً خودکار (با استفاده از IPC/PLC) + عملیات از راه دور + سیستم هشدار (پروتکل ارتباطی OPC-UA در دسترس است) |
||
| توضیحات | اندازهٔ پیکربندی خاص میتواند مطابق با نیازهای مشتری برای محصولات پوششدهی طراحی شود | ||
کاربرد گستردهای در عدسیهای دوربین تلفنهای همراه، عدسیهای نوری، عدسیهای عینک، شیشههای نمایشگر خودرو، اجزای نوری VR/AR و فیلترهای دقیق دارد و قادر به تشکیل لایهای دقیق و یکنواخت با اثرات غنی است.





